[发明专利]集成电路结构有效
申请号: | 201010501849.9 | 申请日: | 2010-09-30 |
公开(公告)号: | CN102208409A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 刘醇鸿;侯上勇;郑心圃;吴伟诚;魏修平;陈志华;郭正铮;陈承先;曾明鸿 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L23/58 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 姜燕;陈晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成电路 结构 | ||
1.一种集成电路结构,包括:
一半导体芯片;
一金属垫,设置于该半导体芯片的一主要表面上;
一凸块下金属层,设置于该金属垫之上,与该金属垫接触;
一金属凸块,设置于该凸块下金属层之上,与该凸块下金属层电性连接;以及
一伪图案,设置在与该金属垫相同的水平面上,且由与该金属垫相同的金属材料制成。
2.如权利要求1所述的集成电路结构,其中在该半导体芯片内无金属凸块在该伪图案之上形成,且无金属凸块与该伪图案电性连接,其中该伪图案与全部的金属凸块以及该半导体芯片内的有源集成电路电性隔绝。
3.如权利要求1所述的集成电路结构,其中该金属凸块为铜凸块或焊锡凸块。
4.如权利要求1所述的集成电路结构,其中该伪图案为伪金属条,由接近该半导体芯片的一边延伸至接近一相对边。
5.如权利要求1所述的集成电路结构,其中该伪图案包括一连续的伪金属保护物,完全地围绕多个金属垫。
6.如权利要求5所述的集成电路结构,其中该连续的伪金属保护物由该半导体芯片的一边连续地延伸至一相对边。
7.如权利要求5所述的集成电路结构,其中该连续的伪金属保护物由该半导体芯片的一角连续地延伸至一相对角。
8.如权利要求1所述的集成电路结构,还包括:
一伪重分布导孔,设置于该伪图案底下,与该伪图案物理性地接触;以及
一伪金属特征,设置于该伪重分布导孔底下,其中该伪金属特征与该伪重分布导孔及该伪图案电性连接。
9.一种集成电路结构,包括:
一半导体芯片;
一钝化层,设置于该半导体芯片的一主要表面上;
多个金属垫,设置于该钝化层下方;
多个凸块下金属层,每个凸块下金属层包括一第一部分设置于该钝化层之上,以及一第二部分延伸至该钝化层,与每一个金属垫接触;
多个金属凸块,每个金属凸块设置于所述多个凸块下金属层之上,与所述多个凸块下金属层中的一个接触;以及
多个伪图案,分布在整个该半导体芯片中,其中所述多个伪图案为设置在相同水平面上的平行伪金属条,且由与所述多个金属垫相同的材料制成。
10.如权利要求9所述的集成电路结构,其中在相同的水平面上,且由与该伪金属保护物相同的材料形成的全部金属特征的图案密度大于90百分比。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的