[发明专利]磁力悬浮传送系统

说明书

相关申请案交叉参考

本申请案主张在韩国知识产权局提出申请的以下韩国专利申请案的优先权：于2009年9月24日提出申请的第10-2009-0090452号、于2009年9月24日提出申请的第10-2009-0090453号、于2009年9月24日提出申请的第10-2009-0090454号、于2009年9月24日提出申请的第10-2009-0090455号、以及于2009年9月24日提出申请的第10-2009-0090456号，这些韩国专利申请案的揭露内容以引用的方式全文幷入本文中。

技术领域

本发明涉及一种磁力悬浮传送系统，更具体而言，涉及一种如下的磁力悬浮传送系统：其在传送物体时采用磁力悬浮技术作为非接触型技术其中之一，从而解决由于摩擦及磨损而损坏组件的问题及造成噪声的问题以及解决产生微粒的问题，幷且在以高速传送物体的同时稳定且安全地供电。

背景技术

传送系统是一种用于传送物体的装置。此处，物体可不仅包括用于液晶显示器(liquid crystal display；LCD)、等离子体显示面板(plasma display panel；PDP)、有机发光二极管(organic light emitting diode；OLED)等的基板、用于半导体器件的晶片、用于容置和支撑基板或晶片的托盘、传送盒或载具，而且还包括各种对象，例如常用的盒子。以下，将以传送盒作为物体进行说明。

用于传送盒的传送系统分为接触型传送系统及非接触型传送系统。

接触型传送系统又分为传送机型传送系统、滚筒型传送系统、轨道型传送系统等。这种接触型传送系统可能会在传送过程中在结构上产生许多微粒。因此，例如，如果使用接触型传送系统来传送装载有LCD基板的传送盒，则基板及净化室可能会被微粒污染。

此外，接触型传送系统会在传送结构或输电结构的接触部件中产生磨损或摩擦，因此存在组件频繁地损坏、造成可怕的噪声、以及无法以高于预定水平的速度进行传送等问题。

相反，非接触型传送系统具有以下优点：其解决了由于摩擦及磨损而损坏组件的问题及造成噪声的问题幷解决了产生微粒的问题，幷且可以高速传送物体。因此，近来，人们一直在积极地研究非接触型传送系统。

作为非接触型传送系统，可考虑磁力悬浮传送系统。磁力悬浮技术是基于磁体(电磁体)的吸引及排斥。当前，已知一种应用磁力悬浮技术的磁悬浮列车。然而，磁悬浮列车的商业启动一直因各种问题而被推迟。

这样，磁力悬浮技术仅仅应用于载人的磁悬浮列车，而尚未应用于用于装载和传送物体(例如传送盒)的传送系统。因此，为将磁力悬浮技术应用到用于装载和传送物体(例如传送盒)的传送系统，需要在许多方面开发不同于磁悬浮列车技术的新技术。

尽管须在许多方面开发新技术，然而新技术的开发非常重要，因为在开发磁力悬浮传送系统时，预期应解决由于摩擦及磨损而损坏组件的问题、造成噪声的问题以及在传送各种物体(例如传送盒)时产生微粒的问题，幷且预期应可高速地传送物体。

同时，为开发磁力悬浮传送系统来传送例如装载有LCD基板的传送盒等物体，需要进行如下的技术开发。

第一，需要进行技术开发以稳定且安全地供电。

第二，由于与磁悬浮列车的轨道相反，传送系统的轨道可能具有相对非常小的曲率半径，因而需要进行技术开发以使装载有物体幷沿轨道路线传送的主体传送单元能在轨道的弯曲段以及直段中平稳地传送。

第三，由于如果直接受到由悬浮单元或推进单元产生的震动或噪声，装载于装载单元上的物体可能会被损坏，因而需要进行技术开发来防止在悬浮单元或推进单元中所产生的震动或噪声传递至装载有物体的装载单元。

第四，沿轨道路线传送的主体传送单元须具有能长期地有效保持稳定结构的刚性结构，因而需要进行与此相关的技术开发。

第五，确信，如果沿轨道路线传送的主体传送单元的轨道能平稳地分出支路，则可更加提高传送效率，因此需要进行与此相关的技术开发。

发明内容

本发明的目的是提供一种磁力悬浮传送系统，其在传送物体时采用磁力悬浮技术作为非接触型技术其中之一，从而解决由于摩擦及磨损而损坏组件的问题及造成噪声的问题以及解决产生微粒的问题，幷且在以高速传送物体的同时稳定且安全地供电。