[发明专利]一种气体等离子渗硫工艺无效
申请号: | 201010298115.5 | 申请日: | 2010-09-30 |
公开(公告)号: | CN101956155A | 公开(公告)日: | 2011-01-26 |
发明(设计)人: | 陶治安;史立新;王占良;司徒春;陈志辉;李文兵;文江;罗磊军;张帆 | 申请(专利权)人: | 北京天马轴承有限公司 |
主分类号: | C23C8/38 | 分类号: | C23C8/38 |
代理公司: | 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 | 代理人: | 刘月娥 |
地址: | 102302 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 气体 等离子 工艺 | ||
1.一种气体等离子渗硫工艺,其特征是,
采用4通道各带流量计的气体输入管,带有两个真空泵,两个温度显示和控制仪,两套真空度显示和控制仪;整个渗硫过程采用PLC控制系统控制;工艺为:
(1)将待处理工件经清洗后均匀摆放在炉内阴极料盘上,炉罩为阳极,盖好炉罩后启动真空泵开始抽真空,渗硫真空度为:50-1000Pa;
(2)当真空度达到50Pa时,加上直流高电压,电压调整范围为300-1000V,在高电压和高真空条件下,气体裂解为等离子,并撞击阴极和工件;炉内产生辉光,等离子撞击工件产生热量使工件升温,工件温度自动控制,控制温度范围100-650℃;电流:0.1-100A;
(3)当炉内真空度和工件温度在100-650℃时,向炉内通入各种气体:氨气:0-1000ML/min,氢气:0-800ML/min,氩气:0-500ML/min,H2S:30-200ML/min,开始渗硫;氨气、氢气、氩气的下限不同时为0;
(4)当渗硫时间达到0.5-20小间时,则系统自动断电,工件降温降至80℃时,出炉,涂防锈油。
2.根据权利权利要求1所述的工艺,其特征是,硫化氢是必须使用的渗硫气体;氨气、氢气、氩气单独使用一种,或几种联合使用;氨气:300-600ml/min,氢气:300-600ml/min,氩气:200-400ml/min,H2S:50-150ml/min,H2S:50-150ml/min。
3.根据权利权利要求1或2所述的工艺,其特征是,渗硫真空度为:300-800Pa,电压调整范围为500-800V,电流:1-50A,渗硫时间2-8小时。
4.根据权利权利要求1或2所述的工艺,其特征是,控制温度范围:高碳铬轴承钢轴承:130-250℃,耐高温轴承:300-600℃。
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