[发明专利]高纯磷烷的净化和分析无效
| 申请号： | 201010284480.0 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102398898A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 尹恩华;武峰;陆方喜 | 申请（专利权）人： | 武峰 |
| 主分类号： | C01B25/06 | 分类号： | C01B25/06;G01N30/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 277100 山东省枣庄市市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高纯 净化 分析 | ||
【权利要求书】：
1.粗制磷烷经冷冻后脱除甲烷，由于磷烷与甲烷的沸点相差很多，通过低温冷冻在-90～-120℃左右，初步分离少量氢、甲烷、二氧化碳、一氧化碳、氧、氮(氢、氮一般对电子工业无害)。
2.根据色谱分析数据，和利用沸点的差别，权利要求用精馏、催化剂和制备色谱来达到最高纯度的磷烷。
3.为了保持高纯磷烷在充装钢瓶时接口处的水、氧的污染，采用终端镓-铟合金的净化器。
4.为了保证高纯磷烷出厂的纯度，必须对包装高纯磷烷的钢瓶、阀门、接头、管道进行清洁处理，钢瓶处理见中国科学院金属研究所的90105149.7专利。
5.高纯磷烷分析是一项技术性很强的工作，特别是5N5以上纯度磷烷的分析，目前还没有文献可以参考。为了能够正确可靠的完成5N5以上纯度磷烷的分析，实施对5N5以上纯度磷烷中杂质分析方法，其分析杂质的灵敏度为0.1～0.2PPM。
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