[发明专利]电极形成方法及电极形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及在基板上形成电极的方法及装置，例如涉及在太阳能电池基板上形成电极的方法及装置。

背景技术

作为在基板上形成规定图案的技术，有如下方法，在该方法中，使喷嘴喷出含图案材料的涂敷液，从而在基板上描画图案。例如，在本申请的申请人在先公开的专利文献1中记载的技术中，使相对于基板向一个方向移动的喷嘴喷出含光固化性树脂的膏状图案形成材料，并涂敷到基板上，通过照射紫外线使树脂固化，从而在基板上形成图案。另外，在该技术中，在使喷嘴相对于基板进行移动从而进行扫描时，通过定期地改变扫描速度、喷出量、曝光量中的某一个，以一定间隔形成图案宽度不同的节部。

考虑到将上述专利文献1中记载的技术应用于例如太阳能电池的电极形成处理中。例如，如在专利文献2中记载的那样，在太阳能电池的电极中，对又称为指状电极的多个细电极和用于横切它们的又称为总线电极(buselectrode)的宽度宽的电极进行组合。

专利文献：

专利文献1：JP特开2006-138911号公报(例如图6)；

专利文献2：JP特开2005-353851号公报(例如图1)。

发明内容

发明要解决的课题

如上述太阳能电池那样，作为形成宽度大不相同的电极的方法，首先，考虑到逐个地设置具有与各个线宽对应的尺寸的喷出口的喷嘴。其次，考虑到通过形成线宽较细的多个相邻的图案，来形成宽度宽的电极。但是，伴随着线宽的微细化，喷嘴的部件成本上升，因此，在第一方法中装置成本上升，结果最终产品的制造成本也上升。另外，在第二方法中存在制造所需要的时间长的问题。

本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供一种在基板上形成电极的方法及装置中，能够以低成本且优异的生产率形成宽度不同的电极的技术。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明的电极形成方法包括：第一工序，使喷出涂敷液的喷嘴相对于基板而在第一方向上进行相对移动，从而向上述基板涂敷上述涂敷液，并通过光照射使涂敷到上述基板的上述涂敷液固化，从而形成第一电极，其中，上述涂敷液含电极材料和光固化性树脂，第二工序，使与上述喷嘴同一形状的喷嘴相对于上述基板而在与上述第一方向不同的第二方向上进行相对移动，从而向上述基板涂敷上述涂敷液，并通过光照射使涂敷到上述基板的上述涂敷液固化，从而形成第二电极；使上述第一工序中的上述光照射的照射条件和上述第二工序中的上述光照射的照射条件不同，从而使上述第一电极的宽度和上述第二电极的宽度不同。

在如此构成的发明中，通过在基板上涂敷含电极材料和光固化性树脂的涂敷液，在基板上形成电极。然后，在喷嘴相对于基板在第一方向上移动时(第一工序)和在第二方向上移动时(第二工序)中，使光照射的照射条件不同。由此，能够使在第一方向上延伸的电极(第一电极)的宽度和在第二方向上延伸的电极(第二电极)的宽度彼此不同。因此，能够以同一形状的喷嘴形成宽度不同的电极，因此能够将装置成本和产品的制造成本抑制在较低限度。另外，不需要为了形成宽度宽的电极而使喷嘴扫描多次，因此能够以高生产率形成电极。

在第一工序的照射条件和第二工序的照射条件不同，这种照射条件例如是指，能够利用从向基板涂敷涂敷液开始到开始光照射为止的时间。涂敷到基板上的涂敷液在基板上扩散，通过照射光来使涂敷液固化，由此使扩散停止。因此，能够通过改变从涂敷开始到开始光照射为止的时间，来改变电极的宽度。更具体地说，例如，也可以使涂敷液涂敷到基板的基板上的着液位置与进行光照射的基板上的光照射位置之间的距离在第一工序和第二工序中不相同。

另外，例如，也可以使光照射的曝光量在第一工序和第二工序中不相同。在此，曝光量是指照射光的强度和照射时间之积，通过改变它们中的一方或双方来控制涂敷液所含的光固化性树脂的固化，从而能够改变电极的宽度。

另外，为了实现上述目的，本发明的第一技术方案的电极形成装置具有：基板保持单元，其用于保持基板，第一喷嘴，其相对于上述基板保持单元所保持的上述基板而进行相对移动，并从喷出口喷出含电极材料和光固化性树脂的涂敷液，第一光照射部，其对从上述第一喷嘴喷出的涂敷液照射光，第二喷嘴，其相对于上述基板保持单元所保持的上述基板而进行相对移动，并从具有与上述第一喷嘴同一形状的喷出口喷出上述涂敷液，第二光照射部，其对从上述第二喷嘴喷出的涂敷液照射光；上述第一光照射部的光照射条件和上述第二光照射部的光照射条件不同。