[发明专利]阵列测试装置和阵列测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及阵列测试装置和阵列测试方法。

背景技术

我们信息社会的发展增强了对显示器的需求并且对显示器的需求多样化了。为了满足这些需求，近来已经研发出诸如液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、电致发光显示器(ELD)、真空荧光显示器(VFD)等的各种平板显示器。

因半导体技术的快速发展使LCD具备了增强的性能，并且其正在替代现有的阴极射线管(CRT)。由于LCD具有显示质量佳和尺寸小以及质量轻和功耗低的特点，因此已广泛地使用。

因此，作为平板显示器中的一种的LCD不仅广泛应用于诸如便携式移动电话、PDA(个人数字助理)和PMP(便携式多媒体播放器)等的小尺寸便携式设备，也应用于诸如接收广播信号并显示图像的TV(电视机)、计算机的显示器等等。

LCD是这样的图像显示器：其以向排列为矩阵形状的液晶单元逐个地提供基于图像信息的数据信号并以此来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像。

LCD包括液晶层，所述液晶层设置在形成多个像素图案的薄膜晶体管(下文中称作“TFT”)基板与形成彩色滤光层的彩色滤光片基板之间。液晶层基于所施加的电信号来决定是否允许光透过。

在一种制造这样的LCD的方法中，在TFT基板上形成多个栅极线、多个数据线、多个像素电极和多个TFT。沿一个方向布置栅极线。沿垂直于栅极线的方向布置数据线。在由栅极线与数据线间的相交处限定的各个像素区上形成像素电极。TFT是由栅极线的信号来开关的，并且其将数据线的信号传输至对应的像素电极。

此外，在彩色滤光片基板上形成黑色矩阵、RGB彩色滤光层和共用电极。黑色矩阵阻挡光穿过非像素区的区域。RGB彩色滤光层表现出颜色。共用电极用来实现图像。

之后，将配向膜分别涂布至TFT基板和彩色滤光片基板。随后摩擦配向膜以便为将在TFT基板和彩色滤光片基板之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和排列方向。

此后，通过将密封胶涂布至基板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持基板间的间隙、防止液晶泄露、并密封基板间的间隙。随后，在基板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。

在上述过程中，测试TFT基板是否有缺陷的操作是通过例如检测栅极线或数据线的断线和打开、或者检测TFT基板上的电路是否有缺陷来实现的。

阵列测试装置用于测试基板。阵列测试装置包括配备有调制器的测试模块以及配备有多个探针引脚的探针组件。

在阵列测试装置中，探针引脚与布置在待测基板上的电极连接。在此状态下，通过向电极施加电信号而使调制器与基板之间形成电场。基板的缺陷是通过参照电场的幅度来确定的。

之后，将测试模块移至基板的另一部分，并重复上述测试。通过反复地执行这些过程来测试基板的整个区域是否有缺陷。

同时，根据基板的类型，布置在基板上的电极的位置和方向可以是多样化的。为了利用单个阵列测试装置来测试各种类型的基板，必须执行将探针引脚对准相应电极的操作，以使电极的位置和方向与那些探针引脚相对应。

在现有技术中，当执行对准操作时，由于没有单独的用于检查探针引脚是否正确地对准了基板的电极从而使电极的位置和方向与那些探针引脚相对应的装置，因此工作人员必须用肉眼来检查每个探针引脚是否对准了相应的电极。

因此，对准过程的效率降低了，并且工作人员可能易于感到疲劳。此外，由于根据工作人员的观察方向的不同而使探针引脚和电极的位置可能不准确，因此降低了对准操作的精确度和可靠性。

发明内容

因此，针对以上在现有技术中所产生的问题提出本发明，并且本发明的目的是提供一种阵列测试装置和一种能够为将探针引脚对准相应的电极的操作提供便利的阵列测试方法。

为了实现以上目的，本发明在一个方面提供一种测试基板是否有缺陷的阵列测试装置，包括：探针组件，其包括探针头和设置在探针头上的探针棒，探针棒具有在其上形成的对准标记；摄像单元，其拍摄对准标记和在基板上形成的电极的图像；以及测试模块，其测试基板是否有缺陷。

此外，在探针棒上可以布置有多个探针引脚，而且对准标记可以包括探针引脚中的至少一个。

替代地，在探针棒上可以布置有多个探针引脚，而且对准标记可以包括在探针棒的上表面上与探针引脚相对应的位置处形成的至少一个对准标记。作为进一步的替代，可以在探针棒的上表面上与邻近探针棒的各相对端部设置的两个探针引脚中的至少一个相对应的位置处形成对准标记。