[发明专利]阵列测试装置和阵列测试方法

权利要求书

1.一种测试基板是否有缺陷的阵列测试装置，包括：

探针组件，所述探针组件包括探针头和设置在所述探针头上的探针棒，所述探针棒具有在其上形成的对准标记；

摄像单元，所述摄像单元拍摄所述对准标记和在基板上形成的电极的图像；和

测试模块，所述测试模块测试所述基板是否有缺陷。

2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，在所述探针棒上布置有多个探针引脚，并且所述对准标记包括所述探针引脚中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，在所述探针棒上布置有多个探针引脚，并且所述对准标记包括在所述探针棒的上表面上与所述探针引脚相对应的位置处形成的至少一个对准标记。

4.根据权利要求3所述的阵列测试装置，其中，在探针棒的上表面上与邻近所述探针棒的各个相对端部设置的两个探针引脚中的至少一个相对应的位置处形成有所述对准标记。

5.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述摄像单元包括设置在所述测试模块上方的光学摄像单元。

6.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述摄像单元包括对准标记摄像单元，所述对准标记摄像单元拍摄在所述基板上形成的用于所述基板的对准的对准标记的图像。

7.根据权利要求1所述的阵列测试装置，还包括控制单元，所述控制单元自动将所述对准标记对准在所述基板上形成的相应的电极。

8.一种利用阵列测试装置的阵列测试方法，所述阵列测试装置包括：探针组件，所述探针组件具有探针头和设置在所述探针头上的探针棒，所述探针棒上布置有多个探针引脚；和摄像单元，所述阵列测试方法包括：

(a)获得关于在所述基板上形成的电极的坐标的信息；

(b)移动所述探针头从而使所述探针引脚接近所述电极；

(c)拍摄所述电极以及在所述探针棒上形成的对准标记的图像；以及

(d)参照所述图像而将所述对准标记设置到所述电极中相对应的至少一个电极的坐标处，从而使所述探针引脚对准相应的电极。

9.根据权利要求8所述的阵列测试方法，其中，所述对准标记包括所述探针引脚中的至少一个，并且

(d)设置所述对准标记包括将所述探针引脚中的至少一个设置到与所述探针引脚中的所述至少一个相对应的电极的坐标处。

10.根据权利要求8所述的阵列测试方法，其中，所述对准标记包括在所述探针棒的上表面上与从所述探针引脚中选择的探针引脚相对应的位置处形成的一个或多个对准标记，并且

(d)设置所述对准标记包括将所述对准标记设置到与所选探针引脚相对应的电极的坐标处。

11.根据权利要求10所述的阵列测试方法，其中，在所述探针棒的上表面上与邻近所述探针棒的各个相对端部设置的两个探针引脚中的至少一个相对应的位置处形成有所述对准标记，并且

(d)设置所述对准标记包括将所述对准标记设置到与邻近所述探针棒的各个相对端部设置的所述两个探针引脚中的所述至少一个相对应的电极的坐标处。

12.一种利用阵列测试装置的阵列测试方法，所述阵列测试装置包括：探针组件，所述探针组件具有探针头和设置在所述探针头上的探针棒，所述探针棒上布置有多个探针引脚；和摄像单元，所述阵列测试方法包括：

移动所述探针头从而使所述探针引脚接近在阵列基板上形成的电极；

拍摄所述探针引脚和所述电极的图像；

参照所拍摄的图像而使所述探针引脚邻近所述电极，从而使将所述探针引脚彼此连接的虚线与将所述电极彼此连接的虚线平行；并且

通过移动所述探针棒而使连接所述探针引脚的虚线与连接所述电极的虚线相符并重叠，使得所述探针引脚对准相应的电极。