[发明专利]镀膜件及其制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜件及其制作方法，尤其涉及一种具有疏水性能的镀膜件及其制作方法。

背景技术

众所周知，固体表面对液体的润湿性是材料表面的一个重要性质。疏水表面一般是指水的接触角大于90°的表面，超疏水表面一般指水的接触角大于150°的表面。超疏水表面在工农业生产与日常生活中应用广泛，可用来防水、防污染、抗氧化等。

在工件表面涂装疏水薄膜是常用的表面处理方法，以此来实现工件表面疏水的功能。所述的疏水薄膜根据膜层组分的不同主要可分为无机疏水薄膜、有机聚合物疏水薄膜及无机/有机复合疏水薄膜。目前较为成熟的无机疏水薄膜多以化学方法制作，如溶胶-凝胶法、阳极氧化法、化学气相沉积(CVD)等。然而，上述的方法受环境因素影响较大，且所制得的疏水薄膜的疏水性能稳定性较差。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种具有稳定的疏水性能的镀膜件。

另外，还有必要提供一种制作上述镀膜件的方法。

一种镀膜件，包括一基材、一催化层、一结合层和一疏水层，所述催化层形成于基材上，所述结合层形成于催化层上，所述疏水层形成于结合层上，该催化层为一Sn膜层，该结合层为一含Ti、Sn、SnO₂和TiO₂的膜层，该疏水层为一Si-N膜层。

一种镀膜件的制作方法为：

提供一基材；在该基材表面磁控溅射一Sn膜层；在该Sn膜层上磁控溅射一Ti膜层；对形成有Sn膜和Ti膜层的基材在真空室中进行热氧化处理，使该二膜层中的部分Sn及部分Ti氧化生成SnO₂和TiO₂，形成一含Ti、Sn、SnO₂和TiO₂结合层；在该结合层上磁控溅射一疏水层，该疏水层为一Si-N膜层。

本发明镀膜件及其制作方法，通过对Sn膜层和Ti膜层的热氧化处理后，形成了一具有微米-纳米的乳突结构的结合层，可使得后续的疏水层牢固地结合于结合层的表面，使该疏水层的机械稳定性增强，达到更好的疏水效果。

附图说明

图1是本发明较佳实施例的镀膜件的剖视示意图。

图2是本发明较佳实施例的镀膜件的制作流程图。

主要元件符号说明

镀膜件    100

基材      10

催化层    11

结合层    13

疏水层    15

具体实施方式

请参阅图1，本发明一较佳实施例的镀膜件100，包括一基材10、一催化层11、一结合层13及一疏水层15。

该基材10可为不锈钢、铝等金属材料，也可为陶瓷、玻璃等非金属材料。

该催化层11为一Sn膜层。

该结合层13为一含Ti、Sn、SnO₂和TiO₂膜层。

该疏水层15为一Si-N膜层。

所述催化层11形成于基材10上，所述结合层13形成于催化层11上，所述疏水层15形成于结合层13上。

所述催化层11、结合层13和疏水层15，每一膜层的较佳厚度均在0.5μm～1.0μm之间。

本发明一较佳实施方式的镀膜件100的制作方法包括以下步骤：

提供一基材10。所述基材10的材质可为不锈钢、铝等金属材料，也可为陶瓷、玻璃等非金属材料。

对该基材10进行表面预处理。该表面预处理可包括常规的对基材10进行化学除油、除蜡、酸洗、超声波清洗及烘干等。

对经上述处理后的基材10的表面进行等离子体清洗，进一步去除基材10表面的油污，以改善基材10表面与后续涂层的结合力。

该等离子体清洗的具体操作及工艺参数可为：将基材10放入一磁控溅射镀膜机(图未示)的真空室内，将该真空室抽真空至6.0×10^-5torr，通入流量为50～400sc cm(标准状态毫升/分钟)的氩气(纯度为99.999％)，对基材10施加-300～-600V的偏压，对基材10表面进行等离子体清洗，清洗时间为5～10min。