[发明专利]喷墨头压电致动单元的切割方法

说明书

技术领域

本发明关于一种切割方法，尤指一种喷墨头压电致动单元的切割方法。

背景技术

随着喷墨技术的进步，喷墨技术不再只是应用在传统打印市场上，近年更应用于平面显示器以及半导体产业的制程技术中，然而，为了降低成本以及节省制程时间，纷纷寻求新的喷墨技术，这之中最被广为应用的，就是压电式喷墨技术。

请参阅图1A，其为已知喷墨头的多层结构于切割前的平面示意图，如图所示，已知喷墨头的多层结构1主要由多层不锈钢板件以高温扩散接合技术堆栈而成，进而形成喷墨头多层结构1的微结构，其中喷墨头多层结构1具有多个喷墨单元100，且每一喷墨单元100对应具有供墨液流入的入液流道(未图示)、供储存墨液的储液室(未图示)、压力腔体(未图示)、出液流道(未图示)以及供墨液喷出的喷嘴孔(未图标)等微结构，且在多个喷墨单元100的入液流道、储液室、压力腔体、出液流道及喷嘴孔等微结构上方设置一共同的振动板10，并在振动板10的上方，且对应于压力腔体的位置设置一共同的压电致动片14，如此一来，当喷墨头的多层结构1堆栈完成后，仅需对设置于最上层的致动片14对应于压力腔体的形态进行切割，即可完成如图1B所示的具有多个喷墨单元100的喷墨头多层结构1。

请再参阅图1A，如图所示，已知的喷墨头多层结构1于切割压电致动片14时，将多个喷墨单元100区分为第一喷墨单元群组11及第二喷墨单元群组12，其中第一喷墨单元群组11与第二喷墨单元群组12彼此互相对应设置，以及，在第一喷墨单元群组11中的喷墨单元100与第二喷墨单元群组12中的另一喷墨单元100彼此穿差错位设置(如图1A的放大图所示)，另外，在压电致动片14上对应于每一喷墨单元100的压力腔体的位置系分别具有一矩形边缘13。当已知喷墨头的多层结构1要对压电致动片14进行切割作业时，采用激光切割方式，且于激光切割时，需精准地一一对应于第一喷墨单元群组11及第二喷墨单元群组12中的每一喷墨单元100的矩形边缘13，以进行压电致动片14的切割作业，以将压电致动片14切割为如图1B所示的多个致动单元141，且该每一致动单元141的位置对应于每一喷墨单元100的压力腔体。

然而，在已知对压电致动片14进行激光切割的过程之中，需要精确地控制切割的位置及均一功率，以对齐每一喷墨单元100的矩形边缘13，同时亦需精准地控制切割的深度及宽度，以免因切割过深而破坏压电致动片14的下的振动板10、或是因宽度控制不良而影响到邻近的喷墨单元100，因此，在进行切割前即需设定激光的波长、能量以及进行激光的时间...等参数，以确保激光后的切割尺寸能达到预定致动单元141的尺寸要求如此一来，在进行激光切割前即需花费许多时间设定相关的切割参数，不仅程序复杂，同时更耗费时间。

此外，当使用激光切割产生多个致动单元141时必须以单一个矩形边缘13为切割单位，且因第一喷墨单元群组11中的喷墨单元100与第二喷墨单元群组12中的另一喷墨单元100彼此穿差错位设置，因此，每切割一个矩形边缘13后，就必须先停止激光切割，待对齐下一个矩形边缘13后再继续进行下一个切割作业，由此可见，在已知切割压电致动片14的作业过程中会耗费很多的作业时间在重复对齐每一致动单元141的切割起点，因而使得工时延长除了此外因切割速率在起始停止或转弯均不同，使得功率不均一造成切割深度不均高的不良率，浪费成本。另外，激光机台的价格相较于其它的切割工具的成本更为昂贵，以及，使用激光切割时易因激光的功率不稳定而产生高温，进而导致在切割作业时将会影响致动单元141的磁性强度及物理强度。

有鉴于此，如何发展一种易于切割、可节省切割作业时间及成本的致动单元的切割方法，以解决已知技术的缺失，实为相关技术领域者目前所迫切需要解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种喷墨头压电致动单元的切割方法，其借助于多个喷墨单元相互对称形成，再利用晶圆切割刀以两两对应直线切割的方式，以将压电致动片切割为多个致动单元，以解决已知激光切割需于作业前设定许多参数，且切割方式需耗费许多作业时间，导致延长工时及浪费成本等缺失。本发明利用切割刀可提供水冷或气冷方式，保持在切割过程，维持在均一100度以下的温度，可充分避免传统激光切割在切割过程功率集中，偶发瞬间高温破坏致动器磁性强度及物理强度。