[发明专利]喷墨头压电致动单元的切割方法

权利要求书

1.一种喷墨头压电致动单元的切割方法，该方法包含下列步骤：

(a)提供一喷墨头多层结构，其是由一振动板以及多个板件堆栈设置而成，且该喷墨头多层结构具有多个喷墨单元，其中该多个喷墨单元相互对称设置，且每一该多个喷墨单元分别具有一腔体；

(b)将至少一压电致动片对应设置于该多个喷墨单元该腔体的该振动板上方，其中该腔体分别具有一第一边、一第二边、一第三边及一第四边，且每一该腔体的该第一边是分别对齐于相对称的另一该腔体的该第三边；以及

(c)以一晶圆切割刀沿着对应于该腔体的该第一边及相对称的该腔体的该第三边对该至少一压电致动片进行直线切割，以使该至少一压电致动片对应于该腔体之处分别对应产生多个对称设置的致动单元。

2.如权利要求1所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中该至少一压电致动片是为二压电致动片，且该压电致动片分别具有一第一侧边及一第二侧边，该第一侧边对齐于该腔体的该第二边及该第二侧边对齐于该腔体的该第四边而设置。

3.如权利要求1所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中该至少一压电致动片是为二压电致动片，其中该压电致动片分别具有一第一侧边，且该第一侧边是对齐于该多个喷墨单元的该腔体的该第二边而设置。

4.如权利要求3所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中于步骤(c)中还包含步骤(c1)：将该晶圆切割刀沿着对应两相对称设置的该腔体的该第四边分别进行直线切割，以将该压电致动片切割以形成多个对称设置的致动单元。

5.如权利要求1所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中该喷墨头多层结构具有一基板，并具有一喷墨孔。

6.如权利要求5所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中该多个板件堆栈于该基板上，且分别形成该多个喷墨单元的一储液室、一入液流道、该腔体及一出液流道等微结构，其中该入液流道是与该腔体及该储液室相连通，而该出液流道是该腔体及该喷墨孔相连通。

7.如权利要求1所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中该晶圆切割刀的厚度是与该压电致动片的厚度相对应，且以不超过该压电致动片的厚度较佳。

8.如权利要求7所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中该晶圆切割刀的厚度是以50μm为最佳。

9.如权利要求1所述的喷墨头压电致动单元的切割方法，其中该压电致动片是为一锆钛酸铅压电材料所形成。