[发明专利]工艺数据监控方法、装置及系统有效

专利信息
申请号: 201010278844.4 申请日: 2010-09-09
公开(公告)号: CN102053575A 公开(公告)日: 2011-05-11
发明(设计)人: 马平 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: G05B19/048 分类号: G05B19/048;H01L21/00
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 苏培华
地址: 100016 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 工艺 数据 监控 方法 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种工艺数据监控方法,其特征在于,包括:

读取监控下位机所采集的工艺数据组,并根据该工艺数据组生成显示图像;

接收至少一个更新后工艺数据,并添加至少一个所述更新后工艺数据至所述工艺数据组中,以生成更新后工艺数据组;所述更新后工艺数据为在读取工艺数据组后,所述监控下位机采集工艺数据过程中所主动上传的相对于所述工艺数据组所包括工艺数据已发生变化的工艺数据;

根据所述更新后工艺数据组,生成更新后显示图像。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据该工艺数据组生成显示图像包括:

识别所述工艺数据组所包括的每个工艺数据的工艺类型标识;

根据不同工艺类型标识,对所述工艺数组所包括的多个工艺数据进行分类,以生成对应不同工艺类型标识的多个工艺数据队列;

根据各工艺数据队列中工艺数据所包括的时间标识和工艺数据值,绘制对应各工艺数据队列的工艺数据曲线,以生成显示图像。

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述添加至少一个所述更新后工艺数据至所述工艺数据组中包括:

识别在预设接收时间段内所接收的每个更新后工艺数据的工艺类型标识;

获取被识别为同一工艺类型标识更新后工艺数据中工艺数据值变化最大的更新后工艺数据;

将该工艺数据值变化最大的更新后工艺数据添加到所对应的工艺数据队列中。

4.根据权利要求2或3所述的方法,其特征在于,所述接收更新后工艺数据之前,还包括:

统计等待接收更新后工艺数据的等待时间;

判断所述等待时间是否已超过预设等待时间,若是,则根据各工艺数据队列中时间标识排位最后的工艺数据,更新对应各工艺数据队列的工艺数据曲线。

5.一种工艺数据监控装置,其特征在于,包括:

读取模块,用于读取监控下位机所采集的工艺数据组;

第一生成模块,用于根据该工艺数据组生成显示图像;

接收模块,用于接收至少一个更新后工艺数据,所述更新后工艺数据为在读取工艺数据组后,所述监控下位机采集工艺数据过程中所主动上传的相对于所述工艺数据组所包括工艺数据已发生变化的工艺数据;

添加模块,用于添加至少一个所述更新后工艺数据至所述工艺数据组中,以生成更新后工艺数据组;

第二生成模块,用于根据所述更新后工艺数据组,生成更新后显示图像。

6.根据权利要求5所述的装置,其特征在于,所述第一生成模块包括:

第一识别单元,用于识别所述工艺数据组所包括的每个工艺数据的工艺类型标识;

分类生成单元,用于根据不同工艺类型标识,对所述工艺数组所包括的多个工艺数据进行分类,以形成对应不同工艺类型标识的多个工艺数据队列;

绘制单元,用于根据各工艺数据队列中工艺数据所包括的时间标识和工艺数据值,绘制对应各工艺数据队列的工艺数据曲线,以生成显示图像。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述添加模块包括:

第二识别单元,用于识别在预设接收时间段内所接收的每个更新后工艺数据的工艺类型标识;

获取单元,用于获取被识别为同一工艺类型标识更新后工艺数据中工艺数据值变化最大的更新后工艺数据;

添加单元,用于将该工艺数据值变化最大的更新后工艺数据添加到所对应的工艺数据队列中。

8.根据权利要求6或7所述的装置,其特征在于,还包括:

统计模块,用于在接收更新后工艺数据之前,统计等待接收更新后工艺数据的等待时间;

更新模块,用于判断所述等待时间是否已超过预设等待时间,若是,则根据各工艺数据队列中时间标识排位最后的工艺数据,更新对应各工艺数据队列的工艺数据曲线。

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