[发明专利]真空传输制程设备及方法

权利要求书

1.一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特征在于，该真空传输制程设备还包括：

至少两个连接于该真空制程腔一侧的进件腔以及至少两个连接于该真空制程腔另一侧的出件腔，各进件腔与各出件腔一一对应，并均可以在大气状态与真空状态之间切换；

至少两个与各对进件腔及出件腔一一对应的传输平台，各传输平台均可以沿着进件腔、该真空制程腔、出件腔的路线往复移动，各传输平台的移动平面不同、但该加工介质的传输路径穿过所有传输平台的移动平面；

一第一机械手臂，用于从大气环境向位于进件腔中的传输平台装载工件；

一第二机械手臂，用于从位于出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；

其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同平面处接受该加工介质的加工，然后在卸载工件后从出件腔经该真空制程腔移回进件腔。

2.如权利要求1所述的真空传输制程设备，其特征在于，各对进件腔及出件腔的设置高度不同，各传输平台的移动平面的高度不同，各传输平台用于在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同高度处接受该加工介质的加工，然后在卸载工件后从出件腔经该真空制程腔移回进件腔。

3.一种真空传输制程设备，其包括一真空制程腔，该真空制程腔中设有一用于利用一加工介质对工件进行加工的加工装置，其特征在于，该真空传输制程设备还包括：

至少两个连接于该真空制程腔一侧的进件腔以及至少两个连接于该真空制程腔另一侧的出件腔，各进件腔与各出件腔一一对应，并均可以在大气状态与真空状态之间切换；

至少两个与各对进件腔及出件腔一一对应的传输平台，各传输平台均可以沿着进件腔、该真空制程腔、出件腔、大气环境的环形路线单方向移动，各传输平台的移动平面不同、但该加工介质的传输路径穿过所有传输平台的移动平面；

一第一机械手臂，用于从大气环境向位于进件腔中的传输平台装载工件以及从位于出件腔中的传输平台向大气环境卸载工件；

其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同平面处接受该加工介质的加工，然后在卸载工件后从出件腔经大气环境移回进件腔。

4.如权利要求3所述的真空传输制程设备，其特征在于，各对进件腔及出件腔的设置高度不同，各传输平台的移动平面的高度不同，各传输平台用于在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同高度处接受该加工介质的加工，然后在卸载工件后从出件腔经大气环境移回进件腔。

5.一种利用权利要求1所述的真空传输制程设备实现的真空传输制程方法，其特征在于，各传输平台在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同平面处接受该加工介质的加工；除了正处于从进件腔经该真空制程腔移向出件腔的过程中的传输平台之外，其余各传输平台：或是处于从出件腔经该真空制程腔移回进件腔的过程中；或是位于进件腔中，且该进件腔处于充气至大气状态、该第一机械手臂从大气环境向位于该进件腔中的该传输平台装载工件、抽气至真空状态的过程中或过程结束后的等待状态；或是位于出件腔中，且该出件腔处于充气至大气状态、该第二机械手臂从位于该出件腔中的该传输平台向大气环境卸载工件、抽气至真空状态的过程中或过程结束后的等待状态。

6.如权利要求5所述的真空传输制程方法，其特征在于，各对进件腔及出件腔的设置高度不同，各传输平台的移动平面的高度不同，各传输平台在装载工件后依次连续地从进件腔经该真空制程腔移向出件腔，使各工件连续地在不同高度处接受该加工介质的加工。