[发明专利]涂敷装置及其涂敷位置修正方法

说明书

技术领域

本发明涉及液晶面板等平面面板制造用的涂敷装置，特别涉及备有门形架的涂敷装置及其涂敷位置修正方法。在该涂敷装置中，门形架设有可移动的涂敷头，一边使这些涂敷头在X、Y轴方向移动，一边从涂敷头往基板上涂敷粘接剂等浆料，在基板上描绘出预定的浆料图案。

背景技术

在LCD(液晶显示装置)面板等平面面板领域中，为了提高面板的制作效率，为了从一块玻璃基板上得到多个面板基板，玻璃基板的尺寸日益大型化。随之，为了制作该平面面板，用于往玻璃基板上涂敷粘接剂等浆料的涂敷装置也日益大型化。在这样的涂敷装置中，使用设有多个涂敷头的门形架，一边使这些涂敷头同时沿相同轨迹移动，一边涂敷浆料，这样，在同一块玻璃基板上同时形成相同的浆料图案。

作为这样的涂敷装置的现有例，已知有如下的技术：在架台上设置保持基板用的基板保持部，设置跨越该基板的、能在一个方向(X轴方向)往复移动的2台门形架，在各门形架上设置沿其长度方向(Y方向)配列、可在该方向移动的多个涂敷头，这些涂敷头在门形架的长度方向(Y轴方向)移动，各门形架在垂直于其长度方向的方向(X轴方向)移动，这样，这些涂敷头一边喷出浆料一边沿相同轨迹移动，在同一个基板上描绘出多个相同的浆料图案(例如参见专利文献1)。

另外，作为另一个现有例，提出有如下的涂敷装置：该涂敷装置设有带多个涂敷头的2台门形架，一个门形架是固定的，另一个门形架可以移动，通过使该门形架移动，可用规定的间隔设置2台门形架，在该状态下，使基板在2个方向移动，从各门形架的涂敷头喷出浆料，这样，在该基板上同时描绘出多个相同的浆料图案(例如参见专利文献2)。

在该专利文献2记载的涂敷装置中，在设在门形架上的每个涂敷头上还设置了使其喷嘴在平行于门形架移动方向的方向(Y轴方向)移动的机构，当相对于基板有θ轴方向的偏差时，用该机构使各涂敷头相对于门形架在Y轴方向变位(位置调节)，据此，补偿基板的θ轴方向的偏差。

另外，作为再一个现有例，提出了一种浆料涂敷器，在框架(门形架)上设置多个头组件(涂敷头)，使这些头组件的喷嘴能在XYZ三个方向移动，该框架是固定的，使基板在平面上的XY轴方向移动，这样，描绘出多个浆料图案(例如参见专利文献3)。

在该专利文献3记载的技术中，框架的长度方向是X轴方向，与框架的长度方向垂直的方向是Y轴方向，喷嘴相对于基板的高度方向是Z轴方向，在更换头组件时，对于更换的新的头组件，使其喷嘴在XY轴方向移动，据此，修正因头组件的更换而造成的新的头组件的喷嘴的位置偏差。

该更换喷嘴的位置偏差的修正方法，是在载置基板的台上的规定位置设置计测机构，把多个喷嘴中的更换喷嘴以外的一个喷嘴作为基准喷嘴，使该计测机构向规定位置移动，检测该位置的计测机构和基准喷嘴的位置偏差，求出计测机构的修正位置，使计测机构移动到该修正位置后，移动到与更换喷嘴对应的规定位置，检测出该规定位置与更换喷嘴的位置偏差，求出该更换喷嘴的修正位置，这样，不必进行在虚设基板上涂敷浆料的操作，可以对更换喷嘴的位置偏差进行修正。

专利文献1：日本特开2002-346452号公报

专利文献2：日本特开2003-225606号公报

专利文献3：日本特开2005-7393号公报

发明内容

为了制造LCD面板等，用设在多个门形架上的多个涂敷头在同一块大型基板上同时地描绘出多个相同的浆料图案时，考虑到从该基板分割成多个面板等后工序的操作，在描绘了浆料图案的各个基板上，这些各个浆料图案必须总是描绘在基板上的预定位置。为此，设在同一门形架上的多个涂敷头之间必须总是保持正确的位置关系，即使设在不同门形架上的涂敷头之间也必须总是保持正确的位置关系，门形架之间必须总是保持正确的位置关系。为此，监视各涂敷头的喷嘴的位置，当产生了位置偏差时，必须将其修正。尤其是，收纳在涂敷头的注射器(浆料收纳筒)内的浆料用完后、更换新的涂敷头时，在该喷嘴可能产生位置偏差，所以必须要进行喷嘴的位置调节。

与此相对，在上述专利文献1中公开了如下技术：采用设有多个涂敷头的2台门形架，固定基板，利用门形架的移动和涂敷头相对于门形架的移动，在该基板上同时地描绘出多个相同的浆料图案。但是，该专利文献1却并未对各涂敷头的喷嘴位置偏差的调节有任何记载，也并未对门形架间的位置偏差的调节有任何记载。