[发明专利]玻璃制造方法、玻璃熔化炉以及玻璃制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及的是玻璃制造方法、玻璃熔化炉、玻璃制造装置、玻璃毛坯制造方法、信息记录媒体用基板制造方法、信息记录媒体制造方法、显示器用基板制造方法以及光学部件制造方法。 

背景技术

在连续地批量生产玻璃时，一般采用以下的工艺。首先，在利用壁面由耐火材料构成的熔融槽使玻璃原料熔化后，将熔化的熔融玻璃澄清，其中，耐火材料由耐热性陶瓷形成。接着，将澄清的熔融玻璃成形为所希望的形状。在此，为了使玻璃原料熔化或维持玻璃的熔融状态而利用火焰加热或通电加热，其中，火焰加热是利用重油喷燃器或煤气燃烧器等的矿物燃料的燃烧进行的加热，通电加热是利用电极使电在熔融的玻璃中流通而进行的加热。另外，利用通电加热时，作为电极使用棒状或块状的电极。另外，这些电极例如被配置在熔融槽的底壁或侧壁(例如，参照专利文献1～3)、或者通过从熔融槽的底壁竖起的电极支撑支架而被支撑(例如，参照专利文献4)。 

另外，在熔融槽内，根据需要在与熔融玻璃接触的位置上配置各种各样的部件，例如用于监控熔融玻璃的温度的温度传感器(例如，参照专利文献5、6)、或为了提高熔融玻璃的均匀性而在熔融玻璃中喷出气体的发泡部件(例如，参照专利文献7、8)、从其他的熔融槽将熔融玻璃导入至熔融槽中、或将熔融槽中的熔融玻璃排出至外部的导管(例如，参照专利文献8)等。另外，由于这些部件被要求具有耐热性、耐腐蚀性，因此一般通过Pt或Pt合金等的、相对于熔融玻璃具有耐热性、耐腐蚀性的金属部件构成或被覆盖。 

另外，作为通过使用了上述那样的熔融槽的玻璃制造装置而被批量生产的玻璃，除了汽车或建材用的玻璃之外，还可以举出用于磁记录媒体等的信息记录媒体用玻璃、或液晶显示器等的显示器用的玻璃、透镜等的光学部件用的玻璃等的、使用于电子仪器或光学仪器等精密仪器中的玻璃。 

另一方面，在通过使用了上述那样的熔融槽的玻璃制造装置而被制造的玻璃中，存在其制造过程中混入各种各样的异物且该异物成为产品缺陷的情 况。例如，在磁记录媒体用的玻璃基板中存在下述情况，即，起因于构成熔融槽的耐火材料的金属氧化物粒子，在生产玻璃时被收进玻璃中的话，则在基板表面作为微小的突起而显现。众所周知如果该突起存在的话，在记录媒体表面也会反映出突起形状，从而引起磁头与磁盘表面的突起发生碰撞的磁头事故(head crash)(参照专利文献9)。 

专利文献1：日本公开公报、特开2003-183031号 

专利文献2：日本公开公报、特开2005-225738号 

专利文献3：日本公开公报、特开平5-4820号 

专利文献4：日本公开公报、特开2005-53757号 

专利文献5：日本公开公报、特开2003-286031号 

专利文献6：日本公开公报、特开2005-225738号 

专利文献7：日本公开公报、特开2005-53757号 

专利文献8：日本公开公报、特表2006-516046号 

专利文献9：日本公开公报、特开2003-137557号 

发明内容

这样的起因于异物的产品缺陷，并不限于磁记录媒体用的玻璃，特别是在使用于上述精密仪器的玻璃中，与异物的材质无关地，即使在玻璃的内部或表面附近存在亚微米～数微米尺寸的微小的异物时也会成为产品缺陷。 

例如，在磁记录媒体中，在磁记录媒体用玻璃基板的表面上存在由异物引起的高度为数纳米左右的微小突起时，除了上述磁头事故之外，也存在引起被称为热凸起(thermal asperity)的问题的情况。另外，在磁记录媒体等的信息记录媒体表面上存在异物的脱落痕迹时，成为次品。另外，在液晶显示器中，在显示器用玻璃基板的表面上存在由异物引起的高度为一百十几纳米左右的突起时，会引起构成像素的电极布线的断线等的问题。除去带来不良影响的异物的尺寸不同这一点之外，该情况在液晶方式以外的其他方式的显示器中也是相同的。另外，在光学元件中，异物的尺寸大于使用的光的波长程度的话，会引起光散射等的问题。 

另一方面，本申请人利用如专利文献9所示那样抑制因构成熔融槽的耐火材料引起的异物缺陷的技术等，谋求被利用于各种用途的玻璃中的异物的消除。但是，即使抑制起因于耐火材料的异物的发生，在长期地批量生产玻璃时，也存在因由Pt等金属形成的金属粒子所引起的产品缺陷随着时间的经过以某一时期为界而急剧增加，而在确保产品合格率方面不能忽视的情况。