[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，该蒸镀装置在保持为真空状态的成膜室内相互相向地配置着具有多个蒸镀喷嘴的分散容器和被蒸镀材，从使蒸镀材料蒸发的蒸发单元到上述分散容器，连接着具有控制阀的材料导入管，

其特征在于，

在上述分散容器上贯穿设置着检测喷嘴，且与该检测喷嘴相向地配置着检测从该检测喷嘴放出的蒸镀材料的蒸镀速度的蒸镀速度检测元件，

设置了使上述检测喷嘴的放出口和上述蒸镀速度检测元件的至少一种相对于另一种接近、离开地移动的蒸镀速度调整机构。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

蒸镀速度调整机构具有相对于被固定的上述检测喷嘴，使上述蒸镀速度检测元件接近、离开地移动的元件调整装置，

设置了与相对于上述被蒸镀材的蒸镀速度相应地操作上述元件调整装置，调整上述检测喷嘴的放出口和上述蒸镀速度检测元件的距离，且根据上述蒸镀速度检测元件的检测信号，操作上述控制阀的蒸镀控制装置。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

上述蒸镀速度调整机构具有进退自由或伸缩自由地构成上述检测喷嘴，且使上述检测喷嘴进退或伸缩，使该检测喷嘴的放出口相对于蒸镀速度检测元件接近、离开地移动的喷嘴调整装置，

设置了与相对于上述被蒸镀材的蒸镀速度相应地操作上述喷嘴调整装置，调整上述检测喷嘴的放出口和上述蒸镀速度检测元件的距离，且按照上述蒸镀速度检测元件的检测信号，操作上述控制阀的蒸镀控制装置。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，

蒸镀控制装置以下述方式构成，即，

若蒸镀速度：上述检测喷嘴的放出口和上述蒸镀速度检测元件的距离：L(mm)、与蒸镀速度相关的系数：k，

则根据Q(L)＝k(1/L²)…(1)算式，

求出上述检测喷嘴的放出口和上述蒸镀速度检测元件的距离：L，操作上述元件调整装置或上述喷嘴调整装置。