[发明专利]线路板的制作方法无效

专利信息
申请号: 201010254260.3 申请日: 2010-08-12
公开(公告)号: CN102376585A 公开(公告)日: 2012-03-14
发明(设计)人: 庄志宏;陈俊廷 申请(专利权)人: 旭德科技股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L33/62
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台湾*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 线路板 制作方法
【权利要求书】:

1.一种线路板的制作方法,包括:

提供一基板,该基板包括介电层、第一导电层与第二导电层,该介电层具有相对的第一表面与第二表面,该第一导电层与该第二导电层分别配置于该第一表面与该第二表面上;

在该基板上形成至少一贯孔,该贯孔贯穿该介电层、该第一导电层与该第二导电层;

在该第一导电层上形成一开口,该开口暴露出部分该第一表面;

在该第一表面上形成一密封层,该密封层覆盖该贯孔与该第一导电层的邻近该贯孔的部分,以密封该贯孔的邻近该第一导电层的一开放端;以及

激光蚀刻该介电层的位于该开口下方的部分,以在该介电层中形成一凹槽,该凹槽暴露出部分该第二导电层,其中在激光蚀刻该介电层的同时,以真空吸附该基板的该第二表面的方式固定该基板。

2.如权利要求1所述的线路板的制作方法,其中形成该贯孔的方式包括机械钻孔。

3.如权利要求1所述的线路板的制作方法,其中形成该开口的方式包括对该第一导电层进行一光刻蚀刻制作工艺。

4.如权利要求1所述的线路板的制作方法,其中该密封层的材质包括感光性高分子材料。

5.如权利要求1所述的线路板的制作方法,还包括:在形成该凹槽之后,移除该密封层。

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