[发明专利]测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试装置，特别涉及一种测试装置，经配置以通过移动探针离开检视模块的焦点，并保持待测元件在检视模块的视野内，进而实现在承载探针时进行元件映象功能。

背景技术

光学显微镜已被广泛地应用于检视半导体元件(例如发光二极管及集成电路)。在一个典型的半导体元件测试过程中，晶圆(wafer)首先放在蓝色胶带上，切成单个半导体元件，使得晶圆上的单个半导体元件彼此分隔。蓝色胶带及其上方的半导体元件被装上一个圆形环进行测试。取像系统在测试过程中提供检视在圆形环上的半导体器件所需的装置。由于半导体元件在切割晶圆及移动到蓝色胶带上时的位置稍有扭曲，且考量在晶圆上数量众多的待测半导体元件，元件映象阶段(mapping phase)通常是在测试程序之前完成。

元件映象阶段收集和记录的各半导体元件的数据，包括它的位置、存在或不存在、是否以墨水标记等等。在一个典型的元件测试周期中，一批半导体元件被放置在取像系统的视野内(field of view，FOVE)。之后，取像系统选取一半导体元件图案作为主要图案，以便使用公知图案匹配技术搜索在视野内的其它半导体元件。

但是，在半导体元件上方的探针遮住其下方的图像而形成不完整的图像，因此大部分的检视装置使用第二套取像系统以执行元件映象功能。第二取像系统与第一取像系统分隔一预定距离，因此元件定位载台必须将半导体元件移动至该第二取像系统，方可进行元件映象功能。在完成元件映象功能后，再将半导体元件移动回第一取像系统，以便进行测试。在此一架构中，元件映象与元件测试的取像系统的光学中心必需精确校对，以避免不正确的半导体元件定位。

然而，上述的检视装置的缺点除了必须使用两套取像系统外，更必需精确校对元件映象的取像系统与元件测试的取像系统这两个光学中心。此外，上述的检视装置的缺点还包括元件载台将待测元件从一个取像系统移动至另一取像系统，耗费额外时间，增加测试成本。

美国专利公开案US 2009/0236506A1揭示一种晶圆级的发光元件(例如发光二极管)测试系统和方法。该系统包括一个LED晶片(die)和一光收集组件，其经配置以收集所有LED晶片发出的光，并散射所有发出的光而产生散射光的分布。该系统还包括一个相耦合的光检测器，用以检测部分的散射光。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测试装置，经配置以通过移动探针离开检视模块的焦点，并保持待测元件在检视模块的视野内，进而实现在承载探针时进行元件映象功能。本发明的一实施例的测试装置包含一壳体；至少一探针载台，设置于该壳体内且经配置以承接至少一探针；一元件承座，设置于该壳体内且经配置以承接一待测半导体元件；以及一检视模块，具有一预定视野且经配置以提取至少该待测半导体元件的图像；其中该探针载台包含一驱动单元，其经配置以于一映象阶段(mapping phase)中移动该探针，使得该探针离开该检视模块的焦点。

本发明另一实施例的测试装置包含一壳体；至少一探针载台，设置于该壳体内且经配置以承接至少一探针；一元件承座，设置于该壳体内且经配置以承接一待测半导体元件；一元件载台，经配置以承接该元件承座，该元件载台包含一第一驱动单元，经配置以沿一第一轴向移动该元件承座；一检视模块，具有一预定视野且经配置以提取至少该待测半导体元件的图像；以及一检视载台，经配置以承接该检视模块，该检视载台包含一第二驱动单元，经配置以沿着该第一轴向移动该检视模块；其中该第一驱动单元及该第二驱动单元在一映象阶段中被致能以沿该第一轴向移动，使得该探针离开该检视模块的焦点。

本发明的有益效果在于，经配置以通过移动探针离开检视模块的焦点，并保持待测元件在检视模块的视野内，进而实现在承载探针时进行元件映象功能。

上文已相当广泛地概述本发明的技术特征及优点，以使下文的本发明详细描述得以获得较佳了解。构成本发明的权利要求标的的其它技术特征及优点将描述于下文。本发明所属技术领域技术人员应了解，可相当容易地利用下文揭示的概念与特定实施例可作为修改或设计其它结构或工艺而实现与本发明相同的目的。本发明所属技术领域技术人员也应了解，这类等同建构无法脱离权利要求所界定的本发明的精神和范围。

附图说明

图1例示本发明一实施例的测试装置；

图2例示本发明一实施例的检视模块；

图3及图4例示该检视模块提取的图像；

图5例示本发明另一实施例的检视模块；

图6例示本发明一实施例的测试装置；以及

图7例示本发明一实施例的测试卡。