[发明专利]测试装置

权利要求书

1.一种测试装置，包含：

一壳体；

至少一探针载台，设置于该壳体内且经配置以承接至少一探针；

一元件承座，设置于该壳体内且经配置以承接一待测半导体元件；以及

一检视模块，具有一预定视野且经配置以提取至少该待测半导体元件的图像；

其中该探针载台包含一驱动单元，其经配置以于一映象阶段中移动该探针，使得该探针离开该检视模块的焦点。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该检视模块包含：

一第一分光器，经配置以导引一照射光至一物件平面；

一物镜，经配置以收集该物件平面的反射光；以及

一第二分光器，经配置以将该反射光分派至一第一光学路径及一第二光学路径。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，该检视模块还包含：

一第一取像模块，设置于该第一光学路径上且具有一第一近摄镜，该第一近摄镜经配置以形成一第一物件图像于一第一取像元件；以及

一第二取像模块，设置于该第二光学路径上且具有一第二近摄镜，该第二近摄镜经配置以形成一第二物件图像于一第二取像元件，该第二取像元件具有变焦功能。

4.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，该检视模块还包含：

一第三分光器，设置于该第一光学路径上且经配置以将该反射光分派至一第三光学路径及一第四光学路径；以及

一第四分光器，设置于该第二光学路径上且经配置以将该反射光分派至一第五光学路径及一第六光学路径。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，该检视模块还包含：

一第一取像模块，设置于该第三光学路径上且具有一第一近摄镜，该第一近摄镜经配置以形成一第一物件图像于一第一取像元件；以及

一第二取像模块，设置于该第四光学路径上且具有一第二近摄镜及一负透镜，该第二近摄镜及该负透镜经配置以形成一第二物件图像于一第二取像元件，该第二取像元件具有变焦功能。

6.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，该检视模块还包含：

一光强度检测器，设置于该第五光学路径上；以及

一光谱检测器，设置于该第六光学路径上。

7.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该探针载台包含一固持器，经配置以固持该探针。

8.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该探针载台包含一固持器，经配置以固持一测试卡，该测试卡包含该探针。

9.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该壳体包含一上盖，经配置以形成一封闭室，该探针载台及该元件承座设于该封闭室内。

10.根据权利要求9所述的测试装置，其特征在于，该上盖包含一透明部，该检视模块经配置以经由该透明部提取该图像。

11.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该壳体包含一平台，该探针载台设置于该平台上。

12.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该驱动单元经配置以沿一Z轴移动该探针，使得该探针离开该检视模块的焦点。

13.根据权利要求12所述的测试装置，其特征在于，该驱动单元经配置以移动该探针接近该检视模块。

14.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该测试装置还包含一处理模块，耦合于该检视模块且经配置以辨识该待测半导体元件的至少一接触部。

15.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，该检视模块还包含：

一正透镜，设置于该第一分光器及一光源之间；以及

一扩散元件，设置于该第一分光器的一受光面上且经配置以接收该光源的照射光。

16.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，该驱动单元经配置以于该映象阶段中移动该探针，使得该探针离开该检视模块的聚焦深度。