[发明专利]化合物和含有该化合物的光致抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种由式(C1)表示的化合物：

其中R^c2表示具有至少一个硝基的C6-C10芳族烃基，并且所述芳族烃基可以具有除硝基以外的一个或多个取代基，并且R^c1表示由式(1)表示的基团：

其中R^c4表示氢原子，或表示直链、支链或环状C1-C6脂族烃基，R^c5表示可以具有选自由卤素原子，羟基，巯基(-SH)，氨基和氨基甲酰基(-CONH₂)组成的组中的一个或多个取代基的C1-C30二价烃基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-，-S-或-NR^c15-代替，其中R^c15表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH＝可以被-N＝代替，并且R^c4和R^c5可以彼此结合以与R^c4和R^c5所结合的氮原子一起形成环，并且R^c3表示由式(3-1)，(3-2)或(3-3)表示的基团：

其中R^c6，R^c7，R^c8，R^c9，R^c10，R^c11，R^c12，R^c13和R^c14各自独立地表示可以具有一个或多个羟基的C1-C30烃基，并且所述C1-C30烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-，-S-或-NR^c16-代替，其中R^c16表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，并且R^c6和R^c7可以彼此结合以与R^c6和R^c7所结合的碳原子一起形成环，并且R^c9和R^c10可以彼此结合以与R^c9所结合的碳原子和R^c10所结合的氧原子一起形成环。

2.根据权利要求1所述的化合物，其中R^c2是硝基苯基。

3.根据权利要求1所述的化合物，其中R^c3是由式(3-1)表示的基团。

4.根据权利要求1所述的化合物，其中R^c1是由式(1-1)或(1-2)表示的基团：

其中R^c3和R^c4具有与权利要求1中的定义相同的含义，R^c17在每次出现时均独立地为可以具有一个或多个羟基的C1-C10烃基，并且所述C1-C10烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-，-S-或-NR^c19-代替，其中R^c19表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，m3表示0至4的整数，并且L^c1表示单键或直链C1-C4烷二基，R^c18表示氢原子，直链、支链或环状C1-C15脂族烃基或C7-C15芳烷基，并且所述脂族烃基和所述芳烷基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-或-S-代替，并且所述脂族烃基和所述芳烷基可以具有选自由卤素原子，羟基，巯基(-SH)，氨基和氨基甲酰基(-CONH₂)组成的组中的一个或多个取代基，并且R^c4和R^c18可以彼此结合以与R^c18所结合的碳原子和R^c4所结合的氮原子一起形成环。

5.根据权利要求1所述的化合物，其中所述由式(C1)表示的化合物是由式(C1-1)，(C1-2)，(C1-3)或(C1-4)表示的化合物：

其中R^c6，R^c7和R^c8具有与权利要求1中的定义相同的含义。

6.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含树脂、酸生成剂和根据权利要求1所述的化合物。

7.一种用于制备由式(C1)表示的化合物的方法，

其中R^c2表示具有至少一个硝基的C6-C10芳族烃基，并且所述芳族烃基可以具有除硝基以外的一个或多个取代基，并且R^c1表示由式(1)表示的基团：

其中R^c4表示氢原子，或表示直链、支链或环状C1-C6脂族烃基，R^c5表示可以具有选自由卤素原子，羟基，巯基(-SH)，氨基和氨基甲酰基(-CONH₂)组成的组中的一个或多个取代基的C1-C30二价烃基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-，-S-或-NR^c15-代替，其中R^c15表示氢原子，或表示直链或支链C1-C4烷基，并且所述二价烃基中的一个或多个-CH＝可以被-N＝代替，并且R^c4和R^c5可以彼此结合以与R^c4和R^c5所结合的氮原子一起形成环，并且R^c3表示由式(3-1)，(3-2)或(3-3)表示的基团：

其中R^c6，R^c7，R^c8，R^c9，R^c10，R^c11，R^c12，R^c13和R^c14各自独立地表示可以具有一个或多个羟基的C1-C30烃基，并且所述C1-C30烃基中的一个或多个-CH₂-可以被-O-，-CO-，-S-或-NR^c16-代替，其中R^c16表示氢原子或表示直链或支链C1-C4烷基，并且R^c6和R^c7可以彼此结合以与R^c6和R^c7所结合的碳原子一起形成环，并且R^c9和R^c10可以彼此结合以与R^c9所结合的碳原子和R^c10所结合的氧原子一起形成环，

所述方法包括将由式(C1a)表示的化合物：

其中R^c1具有与如上定义相同的含义，或其盐，

与由式(C1b)表示的化合物反应：

其中R^c2具有与如上定义相同的含义并且X表示氯原子，溴原子或碘原子。