[发明专利]接触探针

权利要求书

1.一种接触探针，其具有基材、和含有金属及其碳化物中的至少一种的碳被膜，该碳被膜连续地形成在接触探针的前端部到侧面部的表面上，碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的含量从所述前端部朝向侧面部连续或者间断地减少。

2.如权利要求1所述的接触探针，将所述前端部的碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的含量设为A原子％、将不与被检测体接触的侧面部的碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的最大含量设为B原子％时，它们的比B/A为0.9以下。

3.如权利要求1所述的接触探针，将所述前端部的碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的含量设为A原子％、将从所述前端部向根部侧10μm的位置处的侧面部的碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的含量设为B’原子％时，它们的比B’/A为0.9以下。

4.如权利要求1所述的接触探针，所述前端部的碳被膜中的金属及其碳化物中的至少一种的含量为5～30原子％。

5.如权利要求1所述的接触探针，所述金属为从由钨、钽、钼、铌、钛以及铬所构成的组中选择的一种以上。

6.如权利要求1所述的接触探针，通过接触探针检查的被检测体含有锡或者锡合金。