[发明专利]一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法

权利要求书

1.一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，包括以下步骤：

1)通过薄膜沉积的方法在太阳能电池片上沉积一层金属薄膜；

2)将沉积了金属薄膜的太阳能电池板送入退火炉中退火；

3)退火后，在所述金属薄膜上再沉积一层钝化层。

2.根据权利要求1中所述一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，其特征为：所述太阳能电池片的材质为：硅薄膜，GaAs基薄膜电池，GaN基薄膜电池、CdTe基薄膜电池以及有机薄膜太阳能电池和染料敏化电池。

3.根据权利要求1中所述一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，其特征为：所述步骤1)中的金属薄膜沉积方法为：热蒸发、磁控溅射或电子束蒸发法。

4.根据权利要求1中所述一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，其特征为：所述步骤1)中金属薄膜的材质为：金、银、铜、铂中的一种或者其合金。

5.根据权利要求1中所述一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，其特征为：所述步骤2)具体为：沉积后将太阳能电池板送入退火炉中退火；退火温度为：100～300℃，退火时间为：10～60分钟。

6.根据权利要求1中所述一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，其特征为：所述步骤3)中的钝化层材质为：SiO_X，TiO₂或ZrO₂；钝化层保护金属薄膜层中的金属纳米颗粒，防止其被氧化，以实现较长的使用寿命。

7.根据权利要求1中所述一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，其特征为：所述步骤3)中的钝化层沉积方法为：热蒸发法、磁控溅射法或电子束蒸发法。

8.根据权利要求1中所述一种等离子体薄膜太阳能电池增效方法，其特征为：所述步骤3)中的钝化层沉积厚度为3nm-10nm。