[发明专利]一种CuAlO2靶材的制备方法无效
| 申请号： | 201010207876.5 | 申请日： | 2010-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101890498A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 周晓龙;曹建春;陈敬超;阮进;于杰;熊大明;杜焰 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 昆明正原专利代理有限责任公司 53100 | 代理人： | 金耀生 |
| 地址： | 650093 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cualo sub 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种CuAlO2靶材的制备方法，其特征在于按以下步骤进行：
1)原料成分、粒度及其所占重量百分比：Cu2O粉、CuO粉、Al2O3粉、Cu粉；粉末粒度小于45微米；Cu2O粉、Al2O3粉按照摩尔比为1∶1进行配料；或CuO粉、Al2O3粉、Cu粉按照摩尔比为1∶1∶1进行配料；
2)将配好的料装入球磨罐中进行机械合金化处理，球磨时间8-20小时，将处理好的粉料装入塑胶模具中，并用超声波震密实，再采用压制压力200MPa、保压3-5分钟进行冷等静压成形；
3)成形好的素坯装入烧结炉进行无压氧气氛烧结，烧结工艺为：升温速率为50-500℃/h，保温范围900-1300℃，保温时间5-15小时，获得CuAlO2靶材。
2.根据权利要求1所述的CuAlO2靶材的制备方法，其特征在于：2)步骤球磨罐中的球料比为：1∶4或2∶3或3∶2，球磨速度为200-300转/分钟。
3.根据权利要求1所述的CuAlO2靶材的制备方法，其特征在于：3)步骤中使用的氧气纯度高于99.999％，露点低于-72℃，氧气流量5-20L/min。
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