[发明专利]透明导电薄膜及制备方法

权利要求书

1.一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于用热喷雾法获得所述的透明导电薄膜，包括如下步骤：

①、首先将微晶玻璃板用去离子水和酒精进行清洗，将清洗过的微晶玻璃板放入升温炉里，加热到400℃～800℃，烘干待用；

②、配制喷涂液，喷涂液的材料的质量百分比如下：

氧化锡前体    25％～40％

锑前体        0.5％～1.2％

钡前体        0.6％～1.6％

HCl           15％～25％

酒精          40％～60％，

用盐酸溶解氧化锡前体，用酒精分别溶解锑前体和钡前体，用磁力搅拌器搅拌均匀，把三种溶液混合、搅拌，得到均匀的喷涂液；

③、将上述配制好的喷涂液用喷枪喷涂到加热的微晶玻璃板上，在炉膛末端，玻璃温度在400℃～700℃，在此温度下喷涂，炉膛末端设置一排喷枪，喷涂时以压缩的空气为气体载体，每次的沉积时间固定为4～8秒；

④、取出喷涂后的微晶玻璃板，把喷涂后的微晶玻璃板放入隧道炉内烧结，烧结时间为45～60分钟；

⑤、然后把微晶玻璃板进入到保温区，保温10～200分钟，随炉冷却到室温，得到成品。

2.根据权利要求1所述的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：步骤②所述的氧化锡前体是SnCl₄.5H₂O或SnCl₂.2H₂O的任意一种。

3.根据权利要求1所述的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：步骤②所述的锑前体是Sb₂Cl₃，所述的钡的前体是BaO或BaCl₂的任意一种形式。

4.根据权利要求2所述的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：步骤②所述的溶液以四氯化锡为主，氯化铋为掺杂剂。

5.根据权利要求3所述的透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：所述氧化钡为温度系数平衡剂、盐酸为辅助剂、酒精为溶剂。

6.一种透明导电薄膜，其特征在于：主体材料氧化锡中掺杂有锑元素所构成的锡锑氧化物，所述薄膜的原材料的质量百分比如下：

SnCl₄.5H₂O    25％～40％

Sb₂Cl₃        0.5％～1.2％

BaO           0.6％～1.6％

HCl           15％～25％

酒精          40％～60％。