[发明专利]一种真空干法刻蚀机的静电处理方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种真空干法刻蚀机的静电处理方法及装置。

背景技术

静电在日常的生活和工作中经常出现，一次走动，一次起坐均能达到上万伏的静电电压。在半导体生产过程中，真空干法刻蚀机是静电最具活跃的场所之一。例如真空干法刻蚀机AM8330。在一定的真空度条件下，在真空干法刻蚀机的电极上加入一定功率的射频(13.56MHZ)电源时，真空中的气体分子在射频电场作用下相互碰撞、摩擦、分解、电离而产生大量的离子、电子、自由基原子团等导电集合体。

在包括导电集合体的环境中，真空干法刻蚀机传片的晶圆产品的表面，与电极之间相对绝缘，并且晶圆产品的表面以及电极聚集的导电集合体极性相反、电荷量相等，因此表现出相互吸引的特性。但导电集合体会随着射频电源的停止而逐渐消失，从而不会影响晶圆产品的传输。

但是并且在真空干法刻蚀机电极中聚集的导电结合体，并不会随着射频电源的停止而逐渐消失，因此会对晶圆产品造成较强的吸附力，因此在对晶圆产品传片的过程中会导致掉片、碎片、叠片、断爪等故障，从而导致真空干法刻蚀机传片故障率高。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供一种真空干法刻蚀机的静电处理方法及装置，用以解决现有技术中真空干法刻蚀机传片故障率高的问题。

本发明实施例提供的一种真空干法刻蚀机，所述真空干法刻蚀机包括：电极和用于通过抓爪抓取所述电极上传输的晶圆的机械手臂，所述真空干法刻蚀机还包括静电释放控制模块；

所述静电释放控制模块的一端与所述电极相连，另一端接地，用于控制所述电极与地的开合。

发明实施例提供的一种真空干法刻蚀机的静电处理方法，在所述真空干法刻蚀机的电极与地之间连接静电释放控制模块，所述方法包括：

在所述真空干法刻蚀机的电极上停止加入射频信号时，所述静电释放控制模块控制所述电极与地接通，释放所述电极上聚集的静电。

本发明实施例提供了一种真空干法刻蚀机静电释放的方法及装置，真空干法刻蚀机中的电极通过连接静电释放控制模块，通过静电释放控制模块控制电极与地的开合，从而实现将真空干法刻蚀机上聚集的静电释放到大地，进而降低真空干法刻蚀机的传片故障率。

附图说明

图1为本发明实施例提供的真空干法刻蚀机的组成结构示意图；

图2为本发明实施例提供的当该静电释放控制模块12采用手动控制时，该静电释放控制模块12的连接结构示意图；

图3为本发明实施例提供的当该静电释放控制模块12采用自动控制时，该静电释放控制模块12的连接结构示意图；

图4为本发明实施例提供的当该静电释放控制模块12采用自动控制时，静电释放控制模块12的另一连接结构示意图；

图5为本发明实施例提供的静电释放控制模块12的内部连接逻辑示意图。

具体实施方式

本发明实施例中为了有效的去除真空干法刻蚀机上的静电，采用静电释放控制模块的开合，控制电极与地的开合，从而有效释放真空干法刻蚀机上的静电，从而降低真空干法刻蚀机传片的故障率。

下面结合说明书附图，对本发明实施进行详细说明。

图1为本发明实施例提供的真空干法刻蚀机的组成结构示意图，该真空干法刻蚀机包括：电极10和机械手臂11，其中连接该机械手臂的抓爪用于抓取与所述电极上传输的晶圆，并且在本发明实施例中该真空干法刻蚀机还包括静电释放控制模块12，该静电释放控制模块12的一端与所述电极10连接，另一端接大地，该静电释放控制模块12用于控制电极10与地的开合。

在本发明实施例中该真空干法刻蚀机中的静电释放控制模块12可以采用手动控制，也可以采用自动控制。

图2为当该静电释放控制模块12采用手动控制时，该静电释放控制模块12的连接结构示意图。该静电释放控制模块12包括控制开关121，该控制开关121连接在电极11与地之间，控制开关121可以直接接地，或者也可以在与地之间连接电阻等与器件。例如在该静电释放控制模块12包括控制开关121以及连接该控制开关的两根导线，其中一根导线的一端与地连接，另一端与控制开关121的一端连接，另一根导线的一端与控制开关121的另一端连接，另一根导线的另一端与电极11连接。