[发明专利]一种真空干法刻蚀机的静电处理方法及装置

权利要求书

1.一种真空干法刻蚀机，包括：电极和用于通过抓爪抓取所述电极上传输的晶圆的机械手臂，其特征在于，还包括静电释放控制模块；

所述静电释放控制模块的一端与所述电极相连，另一端接地，用于控制所述电极与地的开合。

2.如权利要求1所述的真空干法刻蚀机，其特征在于，所述静电释放控制模块采用手动控制或自动控制。

3.如权利要求2所述的真空干法刻蚀机，其特征在于，当所述静电释放控制模块采用自动控制时，所述静电释放控制模块包括：

继电器，所述继电器包括电感线圈及常闭触点，其中所述常闭触点在电感线圈接收不到电压信号时，控制所述电极与地接通；

信号处理板，用于在所述电极上加入的射频信号停止时，停止向所述继电器的电感线圈输出电压信号。

4.如权利要求3所述的真空干法刻蚀机，其特征在于，所述信号处理板的输入信号包括射频电源使能信号和开始信号，其中所述射频电源使能信号的工作和停止频率，与所述电极上加入的射频信号的工作和停止的频率相同。

5.如权利要求4所述的真空干法刻蚀机，其特征在于，所述继电器还包括一对常开触点，所述一对常开触点分别连接信号处理板的开始信号输入端以及使电极工作的射频电源的控制端。

6.如权利要求1所述的真空干法刻蚀机，其特征在于，还包括所述抓爪采用金属材料。

7.如权利要求6所述的真空干法刻蚀机，其特征在于，所述抓爪通过导线与地连接。

8.一种真空干法刻蚀机的静电处理方法，其特征在于，在所述真空干法刻蚀机的电极与地之间连接静电释放控制模块，所述方法包括：

在所述真空干法刻蚀机的电极上停止加入射频信号时，所述静电释放控制模块控制所述电极与地接通，释放所述电极上聚集的静电。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述控制静电释放控制模块控制所述电极与地接通包括：

当所述电极上加入的射频信号停止时，停止向所述静电释放控制模块中的继电器的电感线圈输出电压信号，所述继电器的常闭触点在电感线圈接收不到电压信号时，控制所述电极与地接通。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述控制静电释放控制模块控制所述电极与地接通包括：

在所述电极上加入的射频信号停止时，控制向所述静电释放控制模块中的继电器的电感线圈输出电压信号，所述继电器的常开触点在电感线圈接收电压信号时，控制所述电极与接通。