[发明专利]一种平板显示用显影液

说明书

技术领域

本发明属于平板显示领域，涉及一种平板显示用显影液。

背景技术

在平板显示领域中，包括等离子体显示(PDP)、液晶显示(LCD)及有机电致发光(OLED)等制备工艺过程中，为获得所需要的各种精细图像，需要利用光阻剂(PhotoResistor)涂布在基板上形成薄膜之后以光罩遮挡并进行曝光，再以碱性显影液显像，除去未曝光的部分，以此获得所需要的图像。

常用的光阻剂为碱可溶性树脂，如酚醛树脂、亚克力树脂及聚对羟基苯乙烯等，通常利用紫外光进行照射后改变高分子树脂的分子结构及其在碱类物质中的溶解度，从而能够溶解于碱性显影液中。碱性显影液中所使用的碱性化合物包括无机碱和有机碱两大类，典型的有机碱包括氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、磷酸钠、磷酸二氢钠、醋酸钠等；典型的有机碱包括四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵或烷基醇胺等碱性化合物。在美国专利US7150960、日本专利特开平10-10749、特开平4-51020、中国专利CN1392973A、CN1238768C、CN101290480A等中都有对这些显影液及其组成的披露。

目前这些发明所涉及的碱性化合物都是一些传统结构的碱性化合物，随着曝光技术及刻蚀精度的不断发展，对新型显影液的要求也越来越高。因为在显影的过程中发现，当光阻剂在涂膜、预烘和曝光后，其涂膜未曝光的部分含有酸性官能团，这些酸性官能团在碱性显影液中，与碱反应形成能够溶解在水中的水溶性有机聚合物盐。当所溶解的这些有机聚合物盐在显影过程中不断积累时，随着浓度的不断增加，显影的速度开始不断降低，并且显影槽中的不溶性有机物开始出现，最后形成不溶水的膜渣。膜渣的存在会造成显影后难以得到非常精确的光阻剂图像。而平板显示的像素点的尺寸通常很小，尺寸在几百微米，空间精度一般要求低于十微米。如果不能得到高精度的光阻图像，将直接影响平板显示图像的显示品质，降低面板生产线的良率。为了改善上述不良现象，目前人们采用了多种方法进行改善。如美国专利US7150960和中国专利CN02156178.8中有在碱性溶液中加入非离子表面活性剂的方法，中国专利CN1392973A中有碱性溶液加入阳离子表面活性剂的办法，日本专利特开平10-10749中有在碱性溶液中加入阴离子表面活性剂的办法。这些方法的出现，在很大程度上解决了显影过程中残渣的现象，具有改善显示图像品质的功效。但由于表面活性剂在碱溶液尤其是无机碱溶液中的溶解度存在一定限制，因此人们目前广泛采用的是有机碱溶液，典型的有机碱包括四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵或烷基醇胺等碱性化合物。为了进一步改善表面活性剂在这些有机碱溶液中的溶解性，提高显影效率，增强显影精度，对新型显影液组成物也提出了更高的要求。

发明内容

本发明的目的是提供一种平板显示用显影液。

本发明提供的平板显示用显影液，由非离子表面活性剂、碱性化合物和去离子水组成，所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的至少两种；

所述式Ⅰ结构通式中，R可为各种饱和的、不饱和的、直链的或支链的基团，如烷基、烯烃基或炔烃基，所述烷基、烯烃基和炔烃基的碳原子总数m为8-20的整数，优选8-16的整数。

所述平板显示用显影液为下述平板显示用显影液a-c中的任意一种：

所述显影液a是由所述非离子表面活性剂、所述碱性化合物和所述去离子水组成，所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意两种；

所述显影液b是由所述非离子表面活性剂、所述碱性化合物和所述去离子水组成，所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意三种；

所述显影液c是由所述非离子表面活性剂、所述碱性化合物和所述去离子水组成，所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意四种。

所述显影液中，所述式Ⅰ结构通式所示化合物为烷基糖苷化合物，其英文名称为Alkyl Polyglycoside，简称为APG，是由可再生资源天然脂肪醇和葡萄糖合成的，其表面张力低、无浊点、湿润力强、去污力强、配伍性强、无毒、无害、生物降解迅速彻底，是国际公认的首选“绿色”功能性表面活性剂。