[发明专利]一种平板显示用显影液有效
申请号: | 201010188125.3 | 申请日: | 2010-05-31 |
公开(公告)号: | CN101872136A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 冯卫文 | 申请(专利权)人: | 合肥茂丰电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平板 显示 显影液 | ||
1.一种显影液,由非离子表面活性剂、碱性化合物和去离子水组成,所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的至少两种;
所述式Ⅰ结构通式中,R为烷基、烯烃基或炔烃基,m为所述烷基、烯烃基或炔烃基的碳原子总数,所述m为8-20的整数。
2.根据权利要求1所述的显影液,其特征在于:所述显影液为下述显影液a-c中的任意一种:
所述显影液a是由所述非离子表面活性剂、所述碱性化合物和所述去离子水组成,所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意两种;
所述显影液b是由所述非离子表面活性剂、所述碱性化合物和所述去离子水组成,所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意三种;
所述显影液c是由所述非离子表面活性剂、所述碱性化合物和所述去离子水组成,所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意四种。
3.根据权利要求1或2所述的显影液,其特征在于:所述式Ⅰ结构通式中,所述m为8-16的整数;
所述式Ⅰ结构通式所示化合物为式Ⅱ-式Ⅵ所示化合物中的任意一种,
所述碱性化合物选自有机碱性化合物和无机碱性化合物中的至少一种,优选无机碱性化合物。
4.根据权利要求3所述的显影液,其特征在于:所述有机碱性化合物选自单甲胺、二甲胺、三甲胺、2-羟基-氢氧三甲胺、氢氧四甲胺、三乙胺、单异丙胺、二异丙胺和氨基乙醇中的至少一种;
所述无机碱性化合物选自氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸锂、磷酸氢钠、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾、碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾、硼酸锂和硼酸钾中的至少一种,优选碳酸钠、碳酸氢钠和碳酸氢钾中的至少一种。
5.根据权利要求1-4任一所述的显影液,其特征在于:所述去离子水中,总金属离子浓度不大于5000纳克/L,优选不大于500纳克/L,更优选不大于50纳克/L。
6.根据权利要求1-5任一所述的显影液,其特征在于:所述碱性化合物占所述显影液总重的百分比为1~15%,所述非离子表面活性剂占所述显影液总重的百分比为1~15%,余量为水;
其中,所述碱性化合物占所述显影液总重的百分比优选为1~10%,更优选为4~8%;所述非离子表面活性剂占所述显影液总重的百分比优选为1~10%,更优选为5-9%。
7.一种制备权利要求2-6任一所述显影液的方法,包括如下步骤:将所述非离子表面活性剂、所述碱性化合物和所述去离子水在20~30℃混匀,得到所述显影液;其中,所述非离子表面活性剂选自式Ⅰ结构通式所示化合物中的至少两种;
所述式Ⅰ结构通式中,R为烷基、烯烃基或炔烃基,m为所述烷基、烯烃基或炔烃基的碳原子总数,所述m为8-20的整数。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于:所述式Ⅰ结构通式中,m为8-16的整数;所述非离子表面活性剂为所述式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意两种、所述式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意三种或所述式Ⅰ结构通式所示化合物中的任意两种四种;
所述式Ⅰ结构通式所示化合物为式Ⅱ-式Ⅵ所示化合物中的任意一种,
所述碱性化合物选自有机碱性化合物和无机碱性化合物中的至少一种,优选无机碱性化合物;所述有机碱性化合物选自单甲胺、二甲胺、三甲胺、2-羟基-氢氧三甲胺、氢氧四甲胺、三乙胺、单异丙胺、二异丙胺和氨基乙醇中的至少一种;所述无机碱性化合物选自氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸锂、磷酸氢钠、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾、碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾、硼酸锂和硼酸钾中的至少一种,优选碳酸钠、碳酸氢钠和碳酸氢钾中的至少一种;
所述去离子水中,总金属离子浓度不大于5000纳克/L,优选不大于500纳克/L,更优选不大于50纳克/L;
所述碱性化合物占所述显影液总重的百分比为1~15%,所述非离子表面活性剂占所述显影液总重的百分比为1~15%,余量为水;
其中,所述碱性化合物占所述显影液总重的百分比优选为1~10%,更优选为4~8%;所述非离子表面活性剂占所述显影液总重的百分比优选为1~10%,更优选为5-9%。
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