[发明专利]抗蚀油墨及通过抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及抗蚀油墨，特别是涉及适于通过反转印刷法形成微细抗蚀图案的抗蚀油墨。另外，本发明涉及通过这种抗蚀油墨的抗蚀图案的形成方法。

背景技术

作为在玻璃基板或塑料基板等的被印刷基材上形成微细的印刷图案的现有方法，已知有专利文献1中所述的那样，在覆盖层上形成均匀厚度的树脂涂面，使树脂涂面接触·挤压至凸版，被凸版挤压的树脂涂面一部分从覆盖层上除去，把覆盖层上形成的树脂图案转印至被印刷基材上的方法(参照图1)。把这种印刷法称作反转印刷法，已知该法是与现有的其他印刷法相比适于形成微细的印刷图案的印刷法。

另外，作为适于这种反转印刷法的油墨组合物，例如，专利文献2及专利文献3公开了含有速干性溶剂与慢干性溶剂的混合物的挥发性溶剂，与在该挥发性溶剂中可溶的树脂及在该挥发性溶剂中不溶的固体物的油墨组合物；还记载了这种油墨组合物，在制造TFT型彩色液晶显示装置的彩色过滤器时，或在由玻璃或塑料等构成的基板上印刷细微的导电体电路，形成布线板或印刷电路时等是合适的。专利文献2及专利文献3中所述的油墨组合物，其特征在于，具有可在覆盖层上形成均匀的油墨涂面的粘度、表面能；可通过与凸版接触在覆盖层上形成的完全的印刷图案呈现干燥性、附着力、凝聚力；另外，具有把覆盖层上的油墨涂膜完全转印至被印刷基材上的附着力、凝聚力。这些特征可以认为，主要是挥发性溶剂中含有不溶的固体物，通过控制粘度、表面能或凝聚力的油墨组合物的特性而得到。在专利文献2及专利文献3中，所谓于挥发性溶剂中不溶的固体物，是指与树脂不同的成分，颜料等着色剂、粉末状导电性材料或荧光发生剂等，就属于此类固体物。

另一方面，作为用于制造细微电路的抗蚀图案的形成方法，现在以光刻法(光刻)为主流，如通过反转印刷法代替光刻法形成抗蚀图案，则可省去曝光或显影等工序，对简化工序有利。但是，如果通过根据专利文献2及专利文献3记载那样，使用应用油墨组合物的抗蚀油墨，通过反转印刷法形成抗蚀图案，由于专利文献2及专利文献3所述的油墨组合物，以在挥发性溶剂中不溶的固体物作为必须成分，故这种固体物在蚀刻处理时及抗蚀剂剥离处理时残留，有该残留物产生的不合格品发生之虑。另外，上述反转印刷法中可利用的油墨组合物，由于必须具有规定的特性，故配制具有这种特性，且蚀刻耐性高地剥离时不产生残渣的，可形成抗蚀图案的抗蚀油墨是非常困难的。

[专利文献1]特开2001-56405号公报

[专利文献2]特开2005-126608号公报

[专利文献3]特开2005-128346号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的是提供一种抗蚀油墨以及通过该抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法，该油墨不含产生次品的固体物，并且具有适于通过反转印刷法形成高的蚀刻耐性的细微抗蚀图案的性质。

用于解决课题的手段

本发明人研究的结果发现，适于通过反转印刷法形成细微抗蚀图案的新型抗蚀油墨，以及通过该抗蚀油墨的新型抗蚀图案形成方法。本发明的要点如下：

(1)抗蚀油墨，其含有热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解该树脂微粒且能分散该树脂微粒的溶剂。

(2)上述(1)中所述的抗蚀油墨，其用于通过反转印刷法在被蚀刻材料上形成抗蚀图案。

(3)上述(1)或(2)中所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒与上述溶剂的溶解度参数之差在2.5(cal/cm³)^1/2以上。

(4)上述(1)～(3)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒与上述溶剂的密度之差在±0.05g/cm³以内。

(5)上述(1)～(4)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒具有0.01～20μm的平均粒径。

(6)上述(1)～(5)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述热熔融型树脂具有1000～10000的重均分子量。

(7)上述(1)～(6)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述热熔融型树脂为酚醛类树脂。

(8)上述(1)～(7)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，上述溶剂为含有至少1种高密度溶剂与至少1种低密度溶剂的2种以上溶剂的混合物。

(9)上述(1)～(8)中任何一项所述的抗蚀油墨，其中，粘度为0.5～15.0mPa·s，且表面张力为12.0～27.0dyn/cm。