[发明专利]抗蚀油墨及通过抗蚀油墨的抗蚀图案形成方法无效
| 申请号： | 201010171704.7 | 申请日： | 2010-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN101875797A | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 舟幡一行;佐佐木洋 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | C09D11/10 | 分类号： | C09D11/10;B41M1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 油墨 通过 图案 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
1.抗蚀油墨，其含有热熔融型树脂构成的树脂微粒，与不溶解上述树脂微粒且能分散上述树脂微粒的溶剂。
2.按照权利要求1中所述的抗蚀油墨，其用于通过反转印刷法在被蚀刻材料上形成抗蚀图案。
3.按照权利要求1或2中所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒与上述溶剂的溶解度参数之差为2.5(cal/cm3)1/2以上。
4.按照权利要求1中所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒与上述溶剂的密度之差为±0.05g/cm3以内。
5.按照权利要求1中所述的抗蚀油墨，其中，上述树脂微粒具有0.01～20μm的平均粒径。
6.按照权利要求1中所述的抗蚀油墨，其中，上述热熔融型树脂具有1000～10000的重均分子量。
7.按照权利要求1中所述的抗蚀油墨，其中，上述热熔融型树脂为酚醛类树脂。
8.按照权利要求1中所述的抗蚀油墨，其中，上述溶剂为含有至少1种高密度溶剂与至少1种低密度溶剂的2种以上溶剂的混合物。
9.按照权利要求1中所述的抗蚀油墨，其中，粘度为0.5～15.0mPa·s，且表面张力为12.0～27.0dyn/cm。
10.抗蚀图案的形成方法，包括：通过权利要求1所述的抗蚀油墨，通过反转印刷法在被蚀刻材料上印刷图案，通过加热上述图案，使上述抗蚀油墨中所含的树脂微粒熔融。
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