[发明专利]液滴喷出装置、电光学装置及其制造方法、电子设备

说明书

申请是申请日为2007年10月16日、申请号为200710162681.1、发明名称为“液滴喷出装置、电光学装置及其制造方法、电子设备”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及对于工件通过从喷墨方式的功能液滴喷出头喷出功能液来进行描绘的液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。

背景技术

以往，公知有以下液滴喷出装置：其具备在使功能液滴喷出头相对移动的同时通过从功能液滴喷出头喷出功能液来进行描绘的描绘机构(喷出机构)、和与描绘机构邻接配设的根据从功能液滴喷出头喷出的功能液的重量来测定液滴喷出量的重量测定装置，基于重量测定装置的测定结果，调整功能液滴喷出头的驱动电力，从而进行描绘(例如，特开2004-177262号公报)。

但是，在以往的液滴喷出装置中，用户基于测定结果来调整驱动电力。为此，为了使测定结果反映到驱动电力中，用户用于调整的时间是必需的，从而不能实现迅速的应对。另外，对用户而言，调整作业较为麻烦。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够将液滴喷出量的测定结果迅速地反映在功能液滴喷出头的驱动电力中的液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。

本发明的液滴喷出装置，其特征在于，具备：描绘机构，对于工件，在使喷墨方式的功能液滴喷出头相对移动的同时，通过从上述功能液滴喷出头喷出功能液来进行描绘；重量测定机构，与描绘机构邻接配设，且根据从功能液滴喷出头喷出的功能液的重量来测定液滴喷出量；和控制机构，基于从重量测定机构输入的测定结果，控制功能液滴喷出头的驱动电力。

根据该结构，并非基于用户而基于从重量测定机构输入的测定结果，控制功能液滴喷出头的驱动电力。为此，与用户基于测定结果调整驱动电力的结构相比，能够将液滴喷出量的测定结果迅速地反映到功能液滴喷出头的驱动电力中。

此时，优选地，描绘机构具有：搭载工件且使该工件沿X轴方向移动的X轴基台；和搭载功能液滴喷出头且使功能液滴喷出头沿Y轴方向移动的Y轴基台，还具备清净机构，其在Y轴方向的功能液滴喷出头的移动轨迹上配设且对功能液滴喷出头进行吸引及擦拭，重量测定机构在功能液滴喷出头的移动轨迹上，被配设在X轴基台和清净机构之间。

根据该结构，能够将功能液滴喷出头(的喷嘴)由清净机构进行擦拭之后靠近重量测定机构。为此，能够有效防止由功能液滴喷出头的喷出不良所引起的重量测定不能进行或重量测定不良。另外，能够缩短由吸引/擦拭、重量测定及描绘构成的一系列工序的生产节拍时间(tact time)。

此时，优选地，将功能液滴喷出头设置多个，重量测定机构具有：接受从任意一个功能液滴喷出头喷出的功能液的容器；对容器内的功能液的重量进行测定的电子天平；和在容器的周围配设的用于在从一个功能液滴喷出头对容器进行测定喷出之际接受来自其他功能液滴喷出头的舍弃喷出的换新盒。

根据该结构，由于设置多个功能液滴喷出头，所以虽然在1个功能液滴喷出头进行测定喷出之际而其他的功能液滴喷出头变为等待该测定喷出的结束，但是能够使该“等待”状态的功能液滴喷出头进行舍弃喷出。为此，在“等待”状态之间没有喷嘴干燥，并且在“等待”状态之后能够较好地进行测定喷出，由此可获得适当的测定结果。

此时，优选地，多个功能液滴喷出头沿X轴方向排列而构成喷头组，还具备使重量测定机构沿X轴方向移动的副基台。

根据该结构，在具备有多个功能液滴喷出头的情况下，能够使各功能液滴喷出头顺次靠近重量测定机构的动作易于进行。

此时，优选地，还具备在副基台的移动轨迹上配设的、在由电子天平进行重量测定时用于覆盖容器的上部空间的防风罩。

根据该结构，在重量测定时通过由副基台使重量测定机构移动到防风罩之下，使电子天平不受到气流的影响而能够进行正确的重量测定。

本发明的电光学装置的制造方法，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置，在工件上形成由功能液构成的成膜部。

另外，本发明的电光学装置，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置，在工件上形成由功能液构成的成膜部。