[发明专利]液滴喷出装置、电光学装置及其制造方法、电子设备

权利要求书

1.一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：

描绘机构，其具有使搭载基板的设置基台沿X轴方向移动的X轴基台；

支架，其搭载了向上述基板喷出功能液的液滴喷出头；

重量测定单元，其测定从上述液滴喷出头喷出的功能液的重量；

清净机构；和

Y轴基台，其使上述支架沿Y轴方向移动，使描绘机构、重量测定单元以及清净机构间移动，

上述重量测定单元在上述Y轴方向上配置在上述X轴基台和上述清净机构之间。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述清净机构具备：吸引单元，其经由密封上述液滴喷出头的喷嘴面的喷头盖，从上述液滴喷出头吸引功能液；和

擦拭单元，其利用擦拭膜擦拭上述液滴喷出头的喷嘴面，

在上述清净机构中，按远离上述X轴基台的顺序，配置上述吸引单元和擦拭单元。

3.根据权利要求2所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述吸引单元具备沿上述Y轴方向排列的多个吸引单元，

上述重量测定单元具备沿上述Y轴方向排列的多个重量测定单元，

上述多个重量测定单元的个数比上述多个吸引单元的个数少。

4.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于，

在上述支架中设置多个上述液滴喷出头，

上述重量测定单元具有：容器，其接受从任意一个上述液滴喷出头喷出的功能液；

电子天平，其测定上述容器内的功能液的重量；和

换新盒，其配设在上述容器的周围，在从上述一个液滴喷出头对上述容器进行测定喷出时，接受来自其他上述液滴喷出头的喷出。

5.根据权利要求4所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述重量测定单元还具备在由上述电子天平进行重量测定时用于覆盖上述容器的上部空间的防风罩。