[发明专利]一种分离应变片的方法以及分离应变片的设备

说明书

技术领域

本发明属于应变片制造领域，尤其涉及一种分离应变片的方法以及分离应变片的设备。

背景技术

应变片的工作原理是当外部环境有力、光、温度、湿度等因素影响应变片时，会引起应变片的电阻、电感、电容等的变化，产生相应的电学输出，从而对外部环境的变化进行精确的测量。

在现实中，应用较广泛的应变片主要是由压阻式应变传感材料制成，被称为应变片压力传感器，其主要工作原理是：被测压力压到粘贴有压阻式应变传感材料的膜片、弹性梁或应变管上并使之产生变形，由压阻式应变传感材料组成的电桥会有不平衡电压输出，该电压与作用在传感器上的被测压力成正比，因此，可通过测量输出电压的变化达到对被测压力的精确测量。另外，应变片压力传感器具有精度高、体积小、重量轻、测量范围宽、固有频率高、动态响应快等优点的同时，还具有耐振动、抗冲击性能良好的特点，适用于测量超高压力、快速变化或巨大脉动的压力、加速度，广泛应用于压力测量仪器、汽车电子、航空产品等领域。

当前，应变片压力传感器的制造方法一般是先用机械方法从母盘上切割出应变片，后由工人手工用环氧树脂将应变片粘贴到压力薄膜上。由于应变片较小且极薄，完全依靠工人凭经验操作难以利用机械方法准确地将应变片从母盘中切割出来，难以将应变片准确的粘贴到压力薄膜上的指定位置；因为应变片压力传感器的精度极高，完全依靠以上方法很难制造出合格的应变片压力传感器，即使制造出来，通常也有精度低、性能不佳、一致性不好、可靠性不高和成品率较低等问题；况且，工人在制造过程中难免会操作失误，工人的任何操作失误也会对应变片压力传感器的质量产生直接影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种分离应变片的方法，旨在解决现有技术中利用机械方法从母盘上分离应变片时引起的应变片成品率较低和生产效率不高的问题。

本发明是这样实现的，一种分离应变片的方法，用于分离刻制于母盘的正面的应变片，包括以下步骤：

①将母盘用粘合剂贴合于贴片夹具上，其中，母盘正面与贴片夹具相接触；

②用腐蚀剂腐蚀母盘反面，腐蚀母盘除应变片外的其余部分，分离应变片。

③将贴合剂从贴片夹具上去除，取出应变片。

其中，所述母盘为硅晶圆片。

其中，所述腐蚀剂为酸性溶液。

其中，在步骤①中，先将粘合剂分别涂在贴片夹具上的贴片凹槽内以及硅晶圆片的表面，后将硅晶圆片贴合于贴片凹槽内。

其中，在步骤②中，先对硅晶圆片进行粗腐蚀，后对硅晶圆片进行精腐蚀。

其中，在步骤③中，将贴片夹具置于一装有可溶解粘合剂的溶解液的容器内，然后加温该溶解液至沸腾，使溶解液的蒸汽溶解贴片夹具上的粘合剂并将应变片分离。

采用以上技术方案后，利用腐蚀剂腐蚀母盘，将母盘除应变片外的其余部分腐蚀掉，从而将从母盘上分离出应变片。与现有技术使用机械切割的方法分离应变片相比，利用本发明提供的分离应变片方法能对精度极高的应变片进行分离而不对应变片造成损坏，分离出应变片的成品率较高；另外，利用本技术方案可以对整个母盘上的应变片同时进行分离，分离效率较高。

本发明还提供了一种分离应变片的设备，包括贴片夹具以及用于装置可溶解粘合剂的容器，所述贴片夹具上开设有一与硅晶圆片大小相适配的贴片凹槽。

其中，所述容器的开口上放置有一用于冷却溶解液蒸汽的冷凝帽。

采用以上技术方案后，由于所述贴片凹槽大小与硅晶圆片的相适配，硅晶圆片可被粘合剂牢固地贴合于贴片夹具；由于在容器的开口上设有冷凝帽，所述冷凝帽中有通有冷却水管，该冷凝帽因此能保持较低的温度，当溶解液蒸汽上升的过程中遇到温度较低的冷凝帽时，会凝结成液体从冷凝帽上滴下，从而避免溶解液蒸汽的蒸发。

附图说明

图1是本发明实施例提供的从母盘分离应变片步骤中的第一示意图。

图2是本发明实施例提供的从母盘分离应变片步骤中的第二示意图。

图3是本发明实施例提供的从母盘分离应变片步骤中的第三示意图。

图4是本发明实施例提供的在压力薄膜上涂印固定胶步骤中的第一示意图。

图5是本发明实施例提供的在压力薄膜上涂印固定胶步骤中的第二示意图。

图6是本发明实施例提供的用粘胶将应变片粘贴到固定胶步骤中的示意图。

图7是本发明实施例提供的应变片微熔于传感器金属结构上的固定胶步骤中的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。