[发明专利]液滴排出头的检查方法、检查装置及液滴排出装置

说明书

技术领域

本发明涉及液滴排出头的检查方法、液滴排出头的检查装置及液滴排出装置。

背景技术

近年来，采用喷墨方式的液滴排出装置，制造电光装置。作为该电光装置，可例示液晶显示装置、有机EL(Electro Luminescence，电致发光)装置等的具有滤色器的装置。当采用液滴排出装置制造这些电光装置时，必须使液滴从液滴排出头按照预定量、非常正确地排出(滴落)于被排出对象的预定位置。

在下述专利文献1，公开了对从液滴排出头的喷嘴列排出的多个液滴的点图形(dot pattern)进行检查的方法及装置的发明。专利文献1的发明为：对检查用工件的预定的形成点图形的区域以相机进行观测，并且如果在该部分存在灰尘等妨碍检查的不良状况，则通过避开该区域而形成检查用的点图形，而可以适当地进行点图形的检查。

【专利文献1】特开2007-144344号公报

可是，在检查用工件的预定的形成点图形的区域存在微细的擦伤和/或裂纹等的不良状况的情况下，通过相机进行的图像识别变得困难，存在无法避开该不良状况的问题。即，这些不良状况具有液滴排出于此处后才开始明显化的特性。

若液滴从液滴排出头滴落于微细的擦伤和/或裂纹等所存在的区域，则液滴沿该擦伤和/或裂纹流出，检查用的点图形的形状发生变化，进而相邻的点图形彼此之间相连。如此的情况下，因为无法对点图形正确地进行检查，所以必须再次在检查用工件形成点图形而重新(重做)检查。因此，点图形的检查时间变长，对后续的产品制造步骤造成影响。

发明内容

本发明鉴于上述问题点所作出，目的在于提供能够缩短点图形的检查时间的液滴排出头的检查方法、液滴排出头的检查装置及液滴排出装置。

为了解决上述的问题，本发明作为对从液滴排出头的喷嘴列排出的多个液滴的点图形进行检查的液滴排出头的检查方法，采用下述方法，该方法包括点图形列形成步骤、点图形检查步骤、和点图形检查列转换步骤，其中，点图形列形成步骤中，对检查用工件，从上述喷嘴列至少2次将上述液滴排出于互不相同的位置，形成多列上述点图形；点图形检查步骤中，选择上述形成的多列点图形列之中的特定一列，并按照包括于该点图形列的上述点图形的每个，采用图像处理依次取得基于该点图形的形状的预定的检查值而进行检查；点图形检查列转换步骤中，在上述依次取得的上述预定的检查值超过相应于该预定的检查值所预先确定的预定阈值的情况下，中止上述选中的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

通过采用如此的方法，在本发明中，可以从同一喷嘴列至少2次将液滴排出于检查用工件，预先形成多列检查用的点图形列，对于存在不良状况的点图形列，利用形成于与其不同的位置的点图形列而开展检查。因此，不必再次在检查用工件形成点图形而重新检查，能够缩短点图形的检查时间。

并且，在本发明中，采用如下的方法：在上述点图形检查列转换步骤中，转换为相邻于上述中止的点图形列的上述第2点图形列的检查。

通过采用如此的方法，在本发明中，能够缩短转换点图形列时产生的检查列转换时间。

并且，在本发明中，采用如下的方法：上述预定的检查值包括上述点图形的面积值。

通过采用如此的方法，在本发明中，因为当液滴沿擦伤等流动时，该点图形沿擦伤等延伸、面积变大，所以基于该面积的值而能对不良状况的存在进行判断。

并且，在本发明中，采用如下的方法：上述预定的检查值包括上述点图形的重心位置的值。

通过采用如此的方法，在本发明中，因为当液滴沿擦伤等流动时，该点图形沿擦伤等延伸、重心位置偏离，所以基于该重心位置的值而能对不良状况的存在进行判断。

并且，在本发明中，采用如下的方法：在上述点图形检查列转换步骤中，在检测到上述依次取得的上述重心位置在与上述选中的点图形列的列方向正交的方向的任一方侧超过上述预定的阈值的情况下，中止上述选中的点图形列的检查，并转换为除了该中止的点图形列及在检测为超过上述预定的阈值的一侧相邻所形成的点图形列之外所形成的第2点图形列的检查。

通过采用如此的方法，在本发明中，在点图形的重心位置偏离到与点图形列正交的方向的任一方侧的情况下，能够判断为，该点图形、和在其一方侧与该点图形列相邻的点图形列中所包括的点图形相连。即，该一方侧的点图形列即使进行检查，其呈现异常值的可能性也高。因此，通过对避开该点图形列的其他点图形列进行检查，能够省去无用的检查，能够有助于检查时间的缩短。