[发明专利]激光加工装置、激光加工装置的制造方法、激光加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光加工装置、激光加工装置的制造方法、以及激光加工方法，特别地，涉及利用在从喷嘴喷射的喷流液柱内被引导的激光来加工被加工物的激光加工装置、激光加工装置的制造方法、以及激光加工方法。

背景技术

先前以来，作为通过喷射水等液体来加工被加工物的加工装置，已知有例如专利文献1中记载的加工装置。在专利文献1中记载的具有液体喷射喷嘴装置的加工装置中，喷射的高压水从被加工物溅起，在加工部的周围扩散，为了防止由于在空气中飞散而弄湿被加工物，在喷嘴前端部设置筒体，并且在该筒体的前端安装柔软材料，使柔软材料密接于被加工物而进行加工，从而防止水向加工部周围扩散。

并且，作为其他实例，已知有例如专利文献2中记载的通过喷射混入了磨料(abrasive)的超高压水来切断被加工物的喷水切断装置。在专利文献2中记载的喷水切断装置中，为了防止含有磨料的高压水在被加工物上溅起而在被加工物的外表面飞散，在高压水的喷出喷嘴的周围设置洒水口，形成幕状的水环状流，防止来自喷出喷嘴的水飞散。

专利文献1：日本特开昭63-77699号公报

专利文献2：日本特开平5-42500号公报

发明内容

(发明要解决的问题)

于是，近年来，开发出一种激光加工装置，其中从喷嘴喷射液体形成喷流液柱，利用在该喷流液柱内被引导的激光来加工被加工物。该形式的激光加工装置，与现有的仅利用激光来进行加工的装置、以及如上述的仅使用高压水来进行加工的装置不同，通过在喷流液柱内引导激光并全反射，在喷流液柱内传送激光。因此，为了良好地保持激光的传送效率，需要使喷流液柱稳定。

在这样的激光加工装置中，当喷流液柱碰到被加工物并且液体溅起时，存在液体附着在喷射喷流液柱的喷嘴上的情况。在该情况下，附着的液体扰乱从喷嘴喷射的喷流液柱的流动，结果，使激光的传送效率降低，并且使激光加工效率降低。因此，在这种类型的激光加工装置中，获得稳定的喷流液柱是非常重要的。

本发明的目的在于提供一种激光加工装置、该激光加工装置的制造方法、以及激光加工方法，其中，该激光加工装置利用在从喷嘴喷射的喷流液柱内被引导的激光来加工被加工物，能够防止液体附着于喷嘴以及保护喷流液柱，并且能够提高激光的传送效率。

(解决技术问题的技术方案)

为了实现上述目的，本发明的激光加工装置包括产生激光的激光振荡器、以及将喷流液体喷射于被加工物的喷嘴，通过在从所述喷嘴喷射的喷流液柱内被引导的激光来加工所述被加工物，所述激光加工装置的特征在于包括：盖，配置在所述喷嘴与所述被加工物之间，保护所述喷嘴以及所述喷流液柱不受喷射的所述喷流液体的溅起的影响。在所述盖上形成从所述喷嘴喷射的喷流液柱能够通过的孔。

在这样构成的本发明中，喷流液柱通过形成于盖的孔，向被加工物喷射。激光在喷流液柱内被引导，照射于被加工物，从而对被加工物进行加工。在激光加工中，即使在喷流液柱碰到被加工物从而喷流液体溅起的情况下，盖防止液体附着于喷嘴以及扰乱喷流液柱。因此，不会使在喷流液柱内被引导的激光的传送效率降低，能够维持良好的加工效率。

在本发明中，优选的是，所述孔通过在从所述喷嘴喷射的所述喷流液柱内被引导的激光形成。

由于在盖上形成通过在喷流液柱内被引导的激光而加工的孔，因此孔的直径与喷流液柱的直径大致相同，在激光加工中，形成在喷流液柱与孔之间的间隙被抑制在最小限度。因此，通过盖，能够更可靠地防止碰到被加工物而溅起的液体附着于喷嘴以及碰到喷流液柱，能够防止扰乱喷流液柱。并且，由于形成于盖的孔通过在喷流液柱内被引导的激光而形成，如果在盖安装于激光加工装置的状态下形成孔，就不用将孔相对于喷流液柱进行对位，能够将盖的孔配置在正确的位置。

在本发明中，优选的是，从所述喷嘴的上面到所述盖的上面的距离为4-40mm，在所述盖的上面设置空间部，所述空间部的沿着所述喷流液柱的方向的尺寸在2mm以上，并且所述空间部的大致垂直于所述喷流液柱的方向的尺寸在5mm以上。