[发明专利]激光加工装置、激光加工装置的制造方法、激光加工方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，包括产生激光的激光振荡器、以及将喷流液体喷射于被加工物的喷嘴，通过在从所述喷嘴喷射的喷流液柱内被引导的激光来加工所述被加工物，所述激光加工装置的特征在于包括：

盖，配置在所述喷嘴与所述被加工物之间，保护所述喷嘴以及所述喷流液柱不受喷射的所述喷流液体的溅起的影响，

在所述盖上形成从所述喷嘴喷射的喷流液柱能够通过的孔。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述孔通过在从所述喷嘴喷射的所述喷流液柱内被引导的激光形成。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

从所述喷嘴的上面到所述盖的上面的距离为4-40mm，在所述盖的上面设置空间部，所述空间部的沿着所述喷流液柱的方向的尺寸在2mm以上，并且所述空间部的大致垂直于所述喷流液柱的方向的尺寸在5mm以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述孔的直径在所述喷流液柱的直径以上，并且在所述喷流液柱的直径的20倍以下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于，

所述盖形成薄板状。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的激光加工装置，其特征在于还包括：

空气喷射装置，配置在所述盖与所述被加工物之间，向所述被加工物喷射空气。

7.一种激光加工装置的制造方法，包括产生激光的激光振荡器、以及将喷流液体喷射于被加工物的喷嘴，通过在从所述喷嘴喷射的喷流液柱内被引导的激光来加工所述被加工物，所述激光加工装置的制造方法的特征在于包括：

在所述喷嘴与所述被加工物之间安装盖的步骤，其中，所述盖保护所述喷嘴以及所述喷流液柱不受喷射的所述喷流液体的溅起的影响；以及

通过照射在所述喷流液柱内被引导的激光，在所述盖上形成所述喷流液柱能够通过的孔的步骤。

8.一种激光加工方法，利用激光加工装置来进行，所述激光加工装置包括产生激光的激光振荡器、以及将喷流液体喷射于被加工物的喷嘴，通过在从所述喷嘴喷射的喷流液柱内被引导的激光来加工所述被加工物，所述激光加工方法的特征在于包括：

在所述喷嘴与所述被加工物之间安装盖的步骤，其中，所述盖保护所述喷嘴以及所述喷流液柱不受喷射的所述喷流液体的溅起的影响；

通过照射在所述喷流液柱内被引导的激光，在所述盖上形成所述喷流液柱能够通过的孔的步骤；以及

利用在通过所述孔的所述喷流液柱内被引导的激光对所述被加工物进行加工的步骤。