[发明专利]用于附着基板的设备及其间隙控制单元

说明书

本申请是原案申请号为200710182035.1的发明专利申请(申请日： 2007年10月24日，发明名称：用于附着基板的设备及其间隙控制单元) 的分案申请。

技术领域

本公开涉及一种用于附着基板的设备及其间隙控制单元。

背景技术

用于附着基板的设备用来使平板显示装置的两个基板彼此附着。薄 形平板显示装置可以是薄膜晶体管液晶显示(TFT-LCD)面板、等离子 显示面板(PDP)、OLED或一些其它类型的显示装置。

TFT-LCD装置通常包括：TFT基板，其上以矩阵的形式形成有多个 TFT(薄膜晶体管)；以及滤色片基板，其上形成有滤色片或遮光膜。这 两个基板彼此相对，并且以几微米的间隙彼此附着。

通过以下步骤进行基板附着：首先将基板相对于彼此对准，使它们 彼此附着，然后使用压力将这两个基板压在一起。用于附着基板的设备 通常包括第一腔室以及与第一腔室隔开的第二腔室。每个腔室的内表面 均设置有用于在附着之前保持基板的静电卡盘(ESC)。上腔室还可以包 括真空卡盘。

在附着过程中，将两个基板传送到设备内并将它们安装于上腔室和 下腔室上。将第一腔室和第二腔室合在一起以形成密封附着空间。然后， 用泵对该密封附着空间进行真空排气，以便在该密封附着空间的内部形 成真空状态。在第一腔室与第二腔室之间设置有密封件，以维持密封附 着空间内的真空。然后将基板彼此对准，并将两个基板彼此附着在一起。

仅在两个基板已被放置成彼此紧密邻接之后才进行两个基板的附 着。基板必须被放置成紧密接近以便使它们精确地对准，这对所形成的 显示装置的质量来说是非常重要的。

当基板被放置成彼此接近时，使用上述的密封件来维持密封附着空 间内的真空。当基板彼此紧密接近时，并且在附着之前，密封件还有助 于控制基板之间的间隙。基板之间的间隙可以通过密封件的压低 (depression)量来决定。

用于附着基板的设备中的另一个重要因素是使一个或两个腔室进行 水平移动以将基板适当对准的能力。在用于附着基板的传统设备中，在 维持真空状态的同时，间隙保持和水平移动单独地进行。但是，当这些 过程顺序进行时，要用很长时间来完成整个过程。

发明内容

为了解决与现有技术相关的以上和其它问题而提出本发明。本发明 的特征在于提供一种用于附着基板的设备及其间隙控制单元，该间隙控 制单元能够在保持真空状态的同时保持和控制腔室之间的均匀间隙，还 能够进行腔室的水平移动。

为了实现本发明的特征，提供了一种用于附着基板的设备，该设备 包括：主框架；第一腔室，安装于主框架上，该第一腔室可以保持第一 基板；第二腔室，安装于主框架上，该第二腔室可以保持第二基板，其 中，第一腔室和第二腔室可以合在一起以形成密封附着空间；主密封件， 位于第一腔室与第二腔室之间，其中，该主密封件可保持密封附着空间 的密封；以及对准控制装置，位于第一腔室与第二腔室之间，其中，该 对准控制装置也保持密封附着空间的密封，并且其中，该对准控制装置 允许第一腔室和第二腔室中的至少一个腔室相对于第一腔室和第二腔室 中的另一个腔室移动，从而可以在仍然保持密封附着空间的密封的同时 将基板对准。

附图说明

将参照附图对实施例进行详细描述，附图中相同参考标号表示相同 部件，并且附图中：

图1是示出了用于附着基板的设备的第一实施例的侧部截面图；

图2是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的分解透视图；

图3和图4示出了对准控制部的操作；

图5是示出了用于附着基板的设备的另一实施例的侧部截面图；

图6是示出了图5所示设备的对准控制部的放大图；

图7示出了图5所示设备的对准控制部的操作；

图8是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的另一实施例的分 解透视图；

图9是图8所示设备的平面图；

图10是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的另一实施例的 分解透视图；

图11是图10所示设备的平面图；

图12是示出了用于附着基板的设备的对准控制部的另一实施例的 放大图；

图13是示出了图12所示的对准控制部的分解透视图；