[发明专利]用于附着基板的设备及其间隙控制单元

权利要求书

1.一种用于附着基板的设备，所述设备包括：

主框架；

第一腔室，安装于所述主框架上，所述第一腔室能够保持第一基板；

第二腔室，安装于所述主框架上，所述第二腔室能够保持第二基板， 所述第一腔室和所述第二腔室可以合在一起以形成密封附着空间；

对准控制装置，位于所述第一腔室与所述第二腔室之间，包括：

本体，位于所述第一腔室与所述第二腔室之间；

主密封件，位于所述本体的第一侧上，能够保持所述本体和所述第 一腔室之间的密封；

第二密封件，位于所述本体的第二侧上，能够保持所述本体与所述 第二腔室之间的密封；以及

压缩控制装置，控制所述第二密封件的压缩量，从而所述主密封件 和所述第二密封件的结合高度在所述本体周围的多个位置处可保持大致 相同。

2.根据权利要求1所述的设备，进一步包括固定装置，所述固定装 置将所述本体连接于所述第二腔室。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述固定装置包括将所述本 体连接于所述第二腔室的多个紧固件，并且其中，所述多个紧固件可以 通过将所述本体的选择部分移动得更近地邻近所述第二腔室而选择性地 压缩所述第二密封件的一些部分。

4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述紧固件可选择性地改变所述 本体与所述第二腔室之间的分离距离，从而改变所述第二密封件的压缩量。

5.根据权利要求2所述的设备，进一步包括位于所述本体与所述第 二腔室之间的弹性件。

6.根据权利要求5所述的设备，其中，所述弹性件包括围绕所述紧 固件的螺旋弹簧。

7.根据权利要求3所述的设备，其中，所述多个紧固件布置成多对， 并且所述第二密封件位于所述每对紧固件之间。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述本体在其中心处包括通 孔，使得所述本体围绕所述第一腔室和所述第二腔室的周边延伸。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述本体包括多个片段，并 且当所述多个片段结合在一起时围绕所述第二腔室的周边形成环形。

10.根据权利要求2所述的设备，其中，允许所述本体相对于所述 第一腔室和所述第二腔室中的至少一个水平地移动，使得在保持所述密 封附着空间的密封时能够将所述基板对准。