[发明专利]掺铝氧化锌薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一，在介质中加入AZO纳米粒子，将溶液超声处理10-30分钟，得到均匀分散的AZO纳米粒子浆液；

步骤二，在浆液中加入偶联剂以及光引发剂；加入偶联剂后，需用用超声处理0.5-8小时；

步骤三，用提拉法或旋涂法将AZO纳米粒子浆液涂覆在玻璃上并利用紫外光照射，然后热处理得到AZO薄膜。

2.如权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，步骤一中，所述介质为无水乙醇、乙二醇、四氢呋喃或N-甲基吡咯烷酮。

3.如权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，步骤一中，所述AZO纳米粒子占介质比重为5％-30％。

4.如权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，步骤一中，所述AZO纳米粒子的尺度在10-50nm，铝质量比含量为1-10％。

5.如权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，步骤二中，所述的偶联剂为硅烷偶联剂、钛酸酯偶联剂以及铝酸酯偶联剂。

6.如权利要求5所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，所述的硅烷偶联剂为：烷基类硅烷偶联剂、乙烯基类硅烷偶联剂、氯丙基硅烷偶联剂、含硫类硅烷偶联剂、胺类硅烷偶联剂、环氧基类硅烷偶联剂、丙烯酰氧基硅烷偶联剂或烷氧基类硅烷偶联剂。

7.如权利要求5所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，所述钛酸酯偶联剂为：异丙基烷基苯磺酸钛酸酯、异丙氧基二硬酯酰基聚氧化乙烯钛酸酯、异丙氧基三硬酯酰基钛酸酯、异丙氧基三钛酸酯、氧乙酸酯双钛酸酯、四异丙基双钛酸酯。

8.如权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，步骤二中，所述的光引发剂为1-羟基环己基苯基甲酮，2-羟基-甲基苯基丙烷-1-酮，2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉基-1-丙酮，2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦。

9.如权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，步骤三中，紫外光照射时间为0.5-4min。

10.如权利要求1所述的掺铝氧化锌薄膜的制备方法，其特征是，步骤三中，所述的热处理是在氮气、氩气、氦气等惰性气氛，温度为50-300℃，时间为0.5-4小时。