[发明专利]硅片切割废砂浆的回收处理方法

权利要求书

1.一种硅片切割废砂浆的回收处理方法，包括如下步骤：

(1)固液分离调节硅片切割废砂浆温度至20℃～100℃，降低其粘度后，再采用离心设备对废砂浆进行固、液分离；

(2)固体中残留切割液回收将上步分离所得固体添水造浆后采用刮刀离心机分离，过滤液体，并进行多级浓缩，使液体中水分含量降低至10％以下；

(3)碳化硅和硅粉分离将上步分离出的固体物料加水造浆，使其质量浓度为20～40％，并按固体质量的0.01％～0.1％向浆料中添加浮选油，便于碳化硅和硅粉分离，将上述浆料打入水力分级装置，持续鼓入空气气流充分搅拌1～3小时后，再以100L/h～300L/h的流速进行水流浮选，使硅粉分离出来；

(4)硅粉回收对上步分离出的硅粉依次进行酸洗、浓缩、烘干，得成品；

(5)碳化硅回收对步骤(3)中分离出的碳化硅依次进行酸洗、碱洗、溢流水力分级、浓缩、烘干、筛松后得到成品；

(6)切割液回收合并步骤(1)、(2)中所回收到的切割液，进行粗滤、精滤、脱色、真空蒸馏脱水，根据回收液的组分含量变化，添加相应量的组分，采用滤芯精度为0.05u～0.5u的精密滤芯过滤器进行二级过滤后即成。

2.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，所述步骤(1)中的离心设备为卧式螺旋离心机或沉降离心机，离心转速控制为500r/min～1500r/min。

3.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，所述步骤(2)中，分离固体的造浆质量浓度为20％～80％，采用刮刀离心机分离，所得液体过滤，采用一级减压蒸馏设备浓缩，将液体中水分含量降低至20％，过滤后采用二级减压蒸馏设备将液体中水分含量降低至10％以下。

4.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，所述步骤(3)中，所述浮选油为2#浮选油、松油、QX-3浮选油中的至少一种。

5.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，在所述步骤(4)、(5)中，酸洗用质量百分浓度为5％～20％的硫酸溶液、盐酸溶液、醋酸溶液中的任意一种；在所述步骤(5)中，碱洗用质量百分比浓度为2％～20％的氢氧化钠溶液或氢氧化钾溶液。

6.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，所述步骤(5)中，溢流水力分级时的料浆质量百分浓度为15％～30％，1500#碳化硅微粉水流速度为200L/h～600L/h，1200#碳化硅微粉水流速度为400L/h～700L/h。

7.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，所述步骤(6)中，粗滤采用板框式压滤机，并按待过滤液体质量的1％～10％添加粒度为50目～500目的助滤剂，所述助滤剂为麦饭石、硅藻土、珍珠岩、活性白土中的至少一种。

8.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，在所述步骤(6)中，精滤采用过滤罐进行过滤，并按待滤液体质量的1％～10％添加粒度为50目～500目的助滤剂，反复循环过滤20～40分钟，然后经过精度为0.1u～5u的袋式过滤器，所述助滤剂为麦饭石、硅藻土、珍珠岩、活性白土中的至少一种。

9.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，在所述步骤(6)中，所述脱色是在脱色罐中进行，并按液体质量的1％～10％添加麦饭石、硅藻土、珍珠岩、活性白土、活性炭中的至少一种物质；另外按液质量的0.1％～10％添加脱色剂，脱色温度为30℃～100℃，脱色搅拌时间为0.5～2小时，然后进行多级过滤，直至滤液色度≤50(铂-钴法)，所述脱色剂为聚合氯化铝、二氧化氯中的至少一种。

10.根据权利要求1所述硅片切割废砂浆的回收处理方法，其特征在于，在所述步骤(6)中，真空蒸馏脱水按待蒸馏液质量的0.01％～0.5％添加抗氧化剂后在降膜蒸馏塔中进行，脱水温度为50℃～130℃，真空度为负压0.05～0.095大气压，直至回收液含水量≤0.4％后，使其冷却至室温，所述抗氧化剂为特丁基对苯二酚、二丁基羟基甲苯、抗氧化剂-561中至少一种。