[发明专利]热电分离的金属载芯片板无效
申请号: | 201010133731.5 | 申请日: | 2010-03-15 |
公开(公告)号: | CN102194790A | 公开(公告)日: | 2011-09-21 |
发明(设计)人: | 王湘华 | 申请(专利权)人: | 王湘华 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/34;H01L21/48;H01L33/62;H01L33/64 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热电 分离 金属 芯片 | ||
1.一种热电分离的金属载芯片板结构,至少包含有:
一散热基板,在其一侧平面设有较凹下的承载区以及相对凸出的衔接部;
一介电层,是在所述的散热基板上以转化被覆(Conversion Coating)方式所形成的化合物,并覆设在散热基板的承载区,且所述的介电层在散热基板的衔接部的位置形成了窗口状的导热区,且所述的导热区与散热基板的衔接部相对应设置;
一电性导通层,设在介电层上。
2.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的散热基板为铝材基板。
3.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的导热区为复数个。
4.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的导热区为长条形。
5.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的导热区为方形。
6.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:在所述的散热基板的衔接部上涂设有半导体导热胶。
7.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的导热区位置设置有芯片。
8.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的衔接部上覆设有溅镀层。
9.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的介电层与电性导通层间设有溅镀层。
10.根据权利要求1所述的热电分离的金属载芯片板结构,其特征在于:所述的散热基板的导热区是几何形状。
11.一种热电分离的金属载芯片板制造方法,其特征在于,其步骤有:
(1)制作一金属散热基板,并在所述的散热基板的一部分位置涂上遮蔽层;
(2)将散热基板上无遮蔽层的部分,以转化被覆(Conversion Coating)方式形成一定深度的介电层,并使所述的介电层在散热基板上围成有至少一个导热区,用来放置芯片;而散热基板相对于导热区形成有衔接部;
(3)去掉遮蔽层,并整平散热基板的表面;
(4)在散热基板的衔接部上,涂设半导体导热胶,并在所述的介电层上布设电性导通层;
(5)衔接部的半导体导热胶上方设置芯片,并与电性导通层作导线跨距联接,使导热和导电能因经由不同路径导体分离。
12.根据权利要求11所述的热电分离的金属载芯片板制造方法,其特征在于:所述的介电层为阳极氧化铝(即AAO)。
13.根据权利要求11所述的热电分离的金属载芯片板制造方法,其特征在于:第(3)步骤的整平散热基板的表面之后,插入有涂设溅镀层的程序。
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