[发明专利]一种用于提高可钢化低辐射镀膜玻璃耐高温的方法

说明书

技术领域

本发明属于低辐射镀膜玻璃生产技术领域，主要提出一种用于提 高可钢化低辐射镀膜玻璃耐高温的方法。

背景技术

可钢化低辐射镀膜玻璃生产工艺要求在玻璃表面沉积一层氧化 硅或氧化钛作为基层膜，再沉积一层氧化锡膜作为调控层，调节镀膜 玻璃的颜色，并阻挡透过基层膜的玻璃内部碱离子，再沉积一层氧化 锌膜作为平滑层，可以使膜层的表面平滑，使再沉积的金属银层均匀 沉积到表面，而不是形成一个接一个的岛状结构，同时可以帮助前面 的氧化锡层调控玻璃颜色，阻挡玻璃内部的碱离子析出，腐蚀其上面 的银层。也可以将金属锡和锌重量比各约50％混到一起，制成锌锡 靶，作为一层膜沉积到基层膜上，膜层厚度与单独的氧化锡和氧化锌 两层膜总厚度相同。然后再沉积镍铬层、银层，镍铬层作为阻挡红外 线的低辐射层，再在上层沉积氧化锌锡层和氮化硅层作为保护层，阻 挡空气中的氧、水汽、硫化氢等有害气体对膜层的腐蚀。

厚度为6mm可钢化低辐射镀膜玻璃在钢化过程中，需要在740℃ 左右的钢化炉中经过约240秒，加热到610℃左右，然后经风冷完成 钢化过程。8mm和10mm玻璃钢化时需在约730℃高温下加热320秒和 400秒左右。而采用上述工艺生产的可钢化低辐射镀膜玻璃无法接受 如此长时间的高温加热，玻璃内部的碱离子和空气中的氧原子会透过 阻挡层，腐蚀银层，使玻璃变色，成为次品。

发明内容

本发明的目的即是提出一种用于提高可钢化低辐射镀膜玻璃耐 高温的方法，在沉积其它膜层参数不变的前提下，可以使产品在730 ℃左右的钢化炉中加热400秒左右，从而使8mm和10mm低辐射镀膜 玻璃能够被钢化。

本发明的目的可采用如下技术方案来实现：所述的镀膜玻璃中的 镀膜层中至少有一层氧化锌锡锑膜层，镀膜时，所述的镀膜室中锌锡 锑靶材成份按重量比为金属锌40-55％，金属锡40-55％，金属锑1-5 ％。

所述的镀膜室中锌锡锑靶材成份按重量比为金属锌45-53％，金 属锡45-53％，金属锑1-3％。

本发明提出一种提高可钢化低辐射镀膜玻璃耐高温的方法，在沉 积氧化锌锡锑膜层时，设备硬件、生产工艺条件与沉积氧化锡膜层、 氧化锌膜层或氧化锌锡膜层一样，不需要改变，膜层厚度为10nm至 60nm.

本发明提出在生产可钢化低辐射镀膜玻璃时，将金属锌靶、金属 锡靶或锌锡合金靶替换成锌锡锑合金靶，在镀膜室充入工艺气体氧 气，镀膜室中的电子在电场的作用下，高速运动，撞击氧气分子，将 其电离成带正电荷的氧离子和电子，带正电荷的氧离子在电场的作用 下，撞击作为负极的锌锡锑合金靶，将锌原子、锡原子、锑原子溅射 出来，形成氧化锌、氧化锡和氧化锑，沉积在银层的上下面，因氧化 锑具有非常高的热稳定型，可以保护银层在740℃高温的钢化炉内， 不被玻璃表面的钠离子和空气中的氧气腐蚀。

本发明提出一种提高可钢化低辐射镀膜玻璃耐高温的方法，使用 氧化锌锡锑膜层，替换现在的氧化锡膜层加氧化锌膜层或氧化锌锡膜 层。氧化锌锡锑膜具有多晶结构，在氧气充分的情况下，锑原子替代 锌原子时显示三价，替代锡原子时显示五价，均呈现施主掺杂效应； 氧化锌锡锑具有热稳定的特点；氧化锌锡锑具有化学稳定性高的特 点。

具体实施方式

实施例1：

在生产型号为JEC1560 8mm可钢化低辐射镀膜玻璃时，在玻璃 上沉积七层膜，第一层和第七层为氧化硅膜层，厚度20nm和31nm， 第二层和第六层为氧化锌锡锑膜层，厚度均为19nm。在镀膜室中的 锌锡锑靶材成份按重量比为金属锌47％，金属锡52％，金属锑1％， 第三层和第五层均为镍铬层，厚度为12nm和14nm，第四层为银层， 厚度为12nm，该玻璃在730℃的钢化炉中加热330秒，然后风冷钢化， 钢化指标符合国家要求，钢化玻璃指标符合国标GB15763.2-2005要 求，无变色现象，钢化前后可见光透过率增加2.1％，颜色变化 1.7CIELAB，符合低辐射镀膜玻璃产品质量要求。

实施例2：