[发明专利]探针卡、包括探针卡的半导体测试装置以及探针卡的熔丝检查方法

权利要求书

1.一种探针卡，包括：

第一电源电极，所述第一电源电极被提供有第一电源电压；

探针，所述探针将与所述第一电源电压相对应的电压提供给要被测试的半导体集成电路；

第一信号线，所述第一信号线连接所述第一电源电极和所述探针；

熔丝，所述熔丝被串联地连接在所述第一信号线上；以及

熔丝检查电路，所述熔丝检查电路将不同于所述第一电源电压的电压提供给位于在所述探针与所述熔丝的一端之间的所述第一信号线上的第一结点。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其中，

所述熔丝检查电路包括开关元件，所述开关元件通过电阻器被串联地连接在第二电源电极和所述第一结点之间，所述第二电源电极被提供有不同于所述第一电源电压的第二电源电压。

3.根据权利要求2所述的探针卡，其中，

控制所述开关元件以使其在用于测试所述半导体集成电路的模式和用于检查所述熔丝的连接状态的模式之间导通和截止。

4.根据权利要求3所述的探针卡，其中，

通过在用于检查所述熔丝的连接状态的所述模式中导通所述开关元件，所述熔丝检查电路将不同于所述第一电源电压的电压提供给所述第一结点。

5.根据权利要求1所述的探针卡，进一步包括：

第三电源电极，所述第三电源电极提供第三电源电压；和

第二信号线，所述第二信号线连接所述第三电源电极和位于所述第一信号线上的第二结点，

其中，基于设定电压和所述第二信号线上的电压之间的电势差，控制被提供给所述第一信号线的所述第一电源电压。

6.根据权利要求5所述的探针卡，其中，

所述第二结点位于在所述探针和所述熔丝的一端之间的所述第一信号线上。

7.根据权利要求1所述的探针卡，其中，

在流到所述探针的电流达到在所述探针被损坏时的电流值之前，所述熔丝被熔断。

8.一种半导体测试装置，包括权利要求1中所述的探针卡。

9.一种用于探针卡的熔丝检查方法，所述探针卡包括：第一电源电极，所述第一电源电极被提供有第一电源电压；探针，所述探针将与所述第一电源电压相对应的电压提供给要被测试的半导体集成电路；第一信号线，所述第一信号线连接所述第一电源电极和所述探针；熔丝，所述熔丝被串联地连接在所述第一信号线上；以及熔丝检查电路，所述熔丝检查电路将不同于所述第一电源电压的电压提供给位于在所述探针与所述熔丝的一端之间的所述第一信号线上的第一结点，所述熔丝检查方法包括：

施加来自于所述第一电源电极的所述第一电源电压；

通过导通被提供在所述熔丝检查电路中的开关元件，将不同于所述第一电源电压的电压提供给所述第一结点；以及

当与所述熔丝的两个端子之间的电势差相对应的电流流到所述第一电源电极时，检测熔丝的连接状态，并且，当与所述熔丝的两个端子之间的电势差相对应的电流没有流到所述第一电源电极时，检测熔丝的熔断状态。