[发明专利]带有清洁机构的标记装置及其清洁方法

权利要求书

1.一种带有清洁机构的标记装置，为在半导体晶片的特定位置进行标记的标记装置，

具有清洁装置，该清洁装置由送风管、安装在所述送风管前端的送风杯以及具有配置在所述送风杯的内侧的空腔的浮上子构成，清洁附着在墨水操纵器前端的中空针的针尖上的墨水污垢，

在所述空腔内清洁所述中空针。

2.根据权利要求1所述的带有清洁机构的标记装置，其特征在于，所述空腔为向下变窄的形状，在所述空腔的内壁具有凹凸。

3.根据权利要求2所述的带有清洁机构的标记装置，其特征在于，所述空腔在俯视时为圆形、或者多边形、或者星形。

4.根据权利要求1所述的带有清洁机构的标记装置，其特征在于，所述空腔的内壁具有吸湿性且柔软。

5.根据权利要求4所述的带有清洁机构的标记装置，其特征在于，所述空腔的内壁由纸或海绵状的氨基甲酸乙酯构成。

6.根据权利要求4所述的带有清洁机构的标记装置，其特征在于，所述浮上子的外形为圆柱或圆锥，在所述浮上子的表面施加有螺旋形状。

7.根据权利要求6所述的带有清洁机构的标记装置，其特征在于，所述浮上子可装卸。

8.一种带有清洁机构的标记装置的清洁方法，其特征在于，为用于除去附着在墨水操纵器前端的中空针的针尖上的墨水污垢的标记装置的清洁方法，使所述中空针与由于送风而进行上下旋转动作的浮上子内的空腔内壁接触并除去墨水污垢。