[发明专利]用于间隙填充材料组合物的共聚物、其制备方法和用于抗反射涂层的间隙填充材料组合物

权利要求书

1.一种用于间隙填充材料的共聚物，其由下列化学式1表示，

[化学式1]

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆和R₇彼此互相独立，R₁是氢原子或是C1-10烷基，每个R₂、R₃和R₄表示氢原子、C1-10烷基或C1-20芳烷基，每个R₅、R₆和R₇表示氢原子或甲基，且每个a、b、c和d是表示主链上重复单元的数目，其中a+b+c+d＝1，0.05＜a/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜b/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜c/(a+b+c+d)＜0.95和0.05＜d/(a+b+c+d)＜0.95。

2.一种制备用于间隙填充材料的共聚物的方法，所述方法包括：

将马来酸酐和丙烯酸酯化合物进行聚合反应，以生成由下列化学式2表示的第一聚合物；和

将所述第一聚合物和C1-10脂肪醇一起反应，以生成由下列化学式3表示的第二聚合物，

[化学式2]

[化学式3]

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆和R₇彼此互相独立，R₁是氢原子或是C1-10烷基，每个R₂、R₃和R₄表示氢原子、C1-10烷基或C1-20芳烷基，每个R₅、R₆和R₇表示氢原子或甲基，且每个a、b、c和d是表示主链上重复单元的数目，其中a+b+c+d＝1，0.05＜a/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜b/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜c/(a+b+c+d)＜0.95和0.05＜d/(a+b+c+d)＜0.95。

3.如权利要求2所述的制备用于间隙填充材料的共聚物的方法，其中，所述丙烯酸酯化合物是从由丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸异丙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸异冰片酯、丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸二甘醇甲醚酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸1-萘基甲酯、甲基丙烯酸2-萘基甲酯、甲基丙烯酸9-蒽基甲酯、甲基丙烯酸1-蒽基甲酯和甲基丙烯酸2-蒽基甲酯构成的组中选择出来的至少一种。

4.如权利要求2所述的制备用于间隙填充材料的共聚物的方法，其中，所述聚合是本体聚合、溶液聚合、悬浮聚合、本体-悬浮聚合、乳液聚合和自由基聚合中的至少一种。

5.如权利要求4所述的制备用于间隙填充材料的共聚物的方法，其中，用于所述自由基聚合的引发剂是从由偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、偶氮二异己腈、偶氮二异戊腈和叔丁基过氧化氢构成的组中选择出来的至少一种。

6.如权利要求4所述的制备用于间隙填充材料的共聚物的方法，其中，用于自由基聚合的聚合溶剂是从苯、甲苯、二甲苯、卤代苯、乙醚、四氢呋喃、酯类、醚类、内酯类、酮类和酰胺类中选择出来的至少一种。

7.如权利要求2所述的制备用于间隙填充材料的共聚物的方法，其中，通过凝胶渗透色谱的按聚苯乙烯换算的重量平均分子量为1,000到100,000。

8.如权利要求2所述的制备用于间隙填充材料的共聚物的方法，其中，所述第一聚合物的分子量分布为1.0到5.0。