[发明专利]闸阀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种闸阀装置，该闸阀装置用于开闭例如真空室的开口部那样的、被设置在用于分隔相邻的两个空间的壁上的开口部，上述真空室用于在真空条件下对基板进行处理。

背景技术

为了在真空条件下对FPD(平板显示器)用的玻璃基板等基板进行等离子蚀刻、等离子灰化(ashing)、等离子成膜等处理，而使用真空处理系统。该真空处理系统例如包括：处理室，其用于对基板进行处理；输送室，其收容用于向处理室送入基板和从处理室送出基板的输送装置；闸阀装置，其被设置在处理室和输送室之间。处理室和输送室都是用于在真空条件下对基板进行处理的真空室。

处理室具有在送入基板或送出基板时供基板通过的开口部。被设置在处理室和输送室之间的闸阀装置具有用于开闭处理室的开口部的阀芯。通过利用该阀芯封闭处理室的开口部，能气密地密封处理室。

在处理室内进行的处理包括像氧化膜蚀刻那样在处理过程中产生能堆积的副产物的处理。当在这样的处理中有副产物附着在处理室的内壁上时，该副产物从内壁剥落而产生微粒(浮游粒子)，该微粒有可能引起蚀刻不良。因此，在进行这样的处理时，为了防止副产物附着到处理室的内壁上，利用恒温装置使高温的介质在处理室的周围循环，使处理室升温到100℃左右。

在处理室内，在进行处理时，处理室的开口部被闸阀装置的阀芯封闭。在该状态下，阀芯的表面的一部分露于处理室内的空间。不能利用恒温装置使阀芯直接升温。另外，阀芯和处理室的接触面积小，因此，即使如上所述地利用恒温装置使处理室升温到100℃左右，阀芯也无法同样地升温。因此，在利用阀芯封闭处理室的开口部的状态下，副产物容易附着于阀芯表面的露于处理室内的空间中的部分上。当副产物附着于该部分上时，与副产物附着在处理室的内壁上的情况相同地会产生微粒，有可能产生蚀刻不良。

因此，以往为了防止副产物附着在阀芯的表面上，例如专利文献1～3所记载那样，提出了在阀芯上安装加热器而利用加热器直接加热阀芯。

专利文献1：日本特开2001-4505号公报

专利文献2：日本特开平10-132095号公报

专利文献3：日本特开平11-325313号公报

不过，在闸阀装置中，为了开闭开口部而需要使阀芯移动的驱动机构。为了防止阀芯与其他构造物摩擦而产生微粒，该驱动机构优选使阀芯不与其他构造物产生摩擦的机构。作为这样地使阀芯不与其他构造物产生摩擦的机构，例如想出了如下机构：在阀芯进行封闭开口部的动作时，使阀芯沿与具有开口部的壁的面平行的方向移动到与开口部相对的位置，之后使阀芯朝着开口部而沿与壁的面垂直的方向移动；在阀芯进行打开开口部的动作时，使阀芯进行与封闭开口部时相反的动作。这样的机构例如能通过经由连杆机构将阀芯连接于被沿与壁面平行的方向驱动的基座构件上来实现。

在此，在包括经由连杆机构在基座构件上连接阀芯而成的驱动机构的闸阀装置中，对在阀芯上安装加热器的情况进行了思考。认为在这种情况下，为了对加热器供电，而将供电用的电缆设置成经由基座构件和连杆机构与加热器相连接。但是，在包括经由连杆机构在基座构件上连接阀芯而成的驱动机构的闸阀装置中，随着利用阀芯开闭开口部的动作，被一体化的阀芯和加热器与基座构件之间的相对位置关系发生变化，因此存在难以将供电用的电缆设置成经由基座构件和连杆机构与加热器相连接的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题点而做成的，其目的在于提供一种能够在用于开闭开口部的阀芯上安装加热器且容易对该加热器供电的闸阀装置。

本发明的闸阀装置包括：阀芯，其用于开闭设置在将相邻的两个空间隔开的壁上的开口部；阀芯移动部件，其为了利用上述阀芯开闭上述开口部而使阀芯移动；加热器，其用于加热上述阀芯；连接器，其与上述加热器电连接着，并且能与用于输出对上述加热器供给的电力的电力输出部电连接而且是物理连接。上述阀芯、加热器和连接器被一体化。上述连接器以如下方式与上述阀芯联动：在上述阀芯封闭了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电连接而且是物理连接，在上述阀芯打开了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电分离而且是物理分离。

在本发明的闸阀装置中，上述电力输出部也可以被固定在上述壁上。

另外，本发明的闸阀装置还包括用于收容上述阀芯、加热器和连接器的壳体，上述电力输出部也可以被固定在上述壳体上。这种情况下，上述壳体具有构成上述壁的至少一部分的壁构成部分，上述电力输出部也可以被固定在上述壁构成部分上。