[发明专利]闸阀装置

权利要求书

1.一种闸阀装置，其包括：

阀芯，其用于开闭设置在将相邻的两个空间隔开的壁上的开口部；

阀芯移动部件，其为了利用上述阀芯开闭上述开口部而使阀芯移动；

加热器，其用于加热上述阀芯；

连接器，其与上述加热器电连接着，并且能与用于输出对上述加热器供给的电力的电力输出部电连接而且是物理连接，其特征在于，

上述阀芯、加热器和连接器被一体化，

上述连接器以如下方式与上述阀芯联动：在上述阀芯封闭了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电连接而且物理连接，在上述阀芯打开了上述开口部的状态下，上述连接器与上述电力输出部电分离而且是物理分离。

2.根据权利要求1所述的闸阀装置，其特征在于，

上述电力输出部被固定在上述壁上。

3.根据权利要求1所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括用于收容上述阀芯、加热器和连接器的壳体，上述电力输出部被固定在上述壳体上。

4.根据权利要求3所述的闸阀装置，其特征在于，

上述壳体具有构成上述壁的至少一部分的壁构成部分，上述电力输出部被固定在上述壁构成部分上。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括开关，该开关被设置在用于对上述电力输出部供电的电源和上述电力输出部之间，用于选择对上述电力输出部供电和断电。

6.根据权利要求1或2所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括副连接器，该副连接器与上述阀芯、加热器和连接器一体化，并与上述加热器电连接着，并且能与用于输出对上述加热器供给的电力的第2电力输出部电连接而且是物理连接，

上述副连接器以如下方式与上述阀芯联动：在上述阀芯封闭了上述开口部的状态下，上述副连接器与上述第2电力输出部电分离而且是物理分离，在上述阀芯打开了上述开口部的特定的状态下，上述副连接器与上述第2电力输出部电连接而且是物理连接。

7.根据权利要求6所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括上述第2电力输出部。

8.根据权利要求7所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括用于收容上述阀芯、加热器、连接器和副连接器的壳体，上述第2电力输出部被固定在上述壳体上。

9.根据权利要求7所述的闸阀装置，其特征在于，

该闸阀装置还包括开关，该开关被设置在用于对上述第2电力输出部供电的电源和上述第2电力输出部之间，用于选择对上述第2电力输出部供电和断电。

10.根据权利要求1～4中任一项所述的闸阀装置，其特征在于，

上述阀芯移动部件包括：基座构件；驱动部件，其使上述基座构件沿与上述壁的面平行的方向移动；连杆机构，其用于连接上述基座构件和上述阀芯，在利用上述阀芯封闭上述开口部时，使上述阀芯沿与上述壁的面平行的方向移动到与上述开口部相对的位置之后，使上述阀芯朝着上述开口部沿与上述壁的面垂直的方向移动，在上述阀芯打开上述开口部时，使上述阀芯进行与封闭上述开口部时相反的动作。

11.根据权利要求1～4中任一项所述的闸阀装置，其特征在于，

上述两个空间中的一个位于用于在真空条件下对基板进行处理的真空室的内部。