[发明专利]固态摄像装置、其驱动方法以及电子装置

权利要求书

1.一种固态摄像装置，包括：

多个感光单元；

多个垂直转移寄存器，包括转移沟道区域和多个垂直转 移电极；

第一沟道停止区域，平行于所述垂直转移寄存器的所述 转移沟道区域而设置；以及

第二沟道停止区域，分离垂直方向上彼此相邻的所述感 光单元，

其中，在所述垂直转移电极中，用作读取电极的垂直转 移电极形成为不与所述第一沟道停止区域以及所述第二沟道 停止区域重叠。

2.根据权利要求1所述的固态摄像装置，还包括：

所述多个垂直转移电极，由单层多晶硅膜形成；以及

栅极绝缘层，具有均匀的厚度并且形成在所述多个垂直 转移电极的下方。

3.根据权利要求2所述的固态摄像装置，其中，当用作所述读取 电极的所述垂直转移电极的边缘部的硅表面的局部电场等于 或小于60V/μm时，将信号电荷从所述感光单元读取至所述 垂直转移寄存器，所述局部电场通过所述栅极绝缘层的厚度和 读取电压而感生。

4.根据权利要求2所述的固态摄像装置，其中，三个垂直转移电 极与相应于单位像素的所述感光单元相对应，所述三个垂直转 移电极中位于所述感光单元侧面的中间电极用作所述读取电 极，而所述三个垂直转移电极中不用作所述读取电极的另外的 电极与所述第一沟道停止区域重叠。

5.根据权利要求2所述的固态摄像装置，其中，三个垂直转移电 极与相应于单位像素的所述感光单元相对应，所述三个垂直转 移电极中位于所述感光单元侧面的一个电极用作所述读取电 极，而所述三个垂直转移电极中不用作所述读取电极的另外的 电极的宽度在面向用作所述读取电极的所述垂直转移电极的 部分处是相同的，并且从所述部分逐渐变宽。

6.根据权利要求1所述的固态摄像装置，其中，在所述第一沟道 停止区域与所述转移沟道区域之间形成间隙。

7.根据权利要求2所述的固态摄像装置，其中，在所述第一沟道 停止区域与所述转移沟道区域之间形成间隙。

8.根据权利要求3所述的固态摄像装置，其中，在所述第一沟道 停止区域与所述转移沟道区域之间形成间隙。

9.根据权利要求4所述的固态摄像装置，其中，在所述第一沟道 停止区域与所述转移沟道区域之间形成间隙。

10.根据权利要求5所述的固态摄像装置，其中，在所述第一沟道 停止区域与所述转移沟道区域之间形成间隙。

11.一种固态摄像装置的驱动方法，包括以下步骤：

使用固态摄像装置，在所述固态摄像装置中，垂直转移 寄存器的多个垂直转移电极中被施加读取电压的一个电极形 成为不与平行于转移沟道区域而设置的沟道停止区域重叠；

将被施加所述读取电压的所述垂直转移电极的边缘部与 所述沟道停止区域之间的局部电场设置为等于或小于60 V/μm，所述局部电场通过所述垂直转移寄存器的栅极绝缘层 的厚度和所述读取电压而感生；以及

通过将所述读取电压施加至所述垂直转移电极，将信号 电荷从感光单元读取至所述垂直转移寄存器。

12.一种电子装置，包括：

光学透镜；

固态摄像装置；以及

信号处理电路，处理所述固态摄像装置的输出信号，

其中，所述固态摄像装置包括：

多个感光单元；

多个垂直转移寄存器，包括由单层多晶硅膜形成的多个 垂直转移电极，所述垂直转移电极经由转移沟道区域和具有均 匀厚度的栅极绝缘层形成；

第一沟道停止区域，平行于所述垂直转移寄存器的所述 沟道区域而设置；以及

第二沟道停止区域，分离在垂直方向上彼此相邻的所述 感光单元；

其中，在所述垂直转移电极之中，用作读取电极的垂直 转移电极形成为不与所述第一沟道停止区域和所述第二沟道 停止区域重叠，并且当用作所述读取电极的所述垂直转移电极 的边缘部的硅表面的局部电场等于或小于60V/μm时，将信 号电荷从所述感光单元读取至所述垂直转移寄存器，所述局部 电场通过所述栅极绝缘层的厚度和读取电压而感生。