[发明专利]射频电路中电感的短路测试装置及短路测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件的测试装置和方法，特别涉及一种射频电路中电感的短路测试装置及短路测试方法。

背景技术

目前，电感已经成为诸如压控振荡器(Voltage Controlled Oscillator，VCO)、低噪声放大器(Low-Noise Amplifier，LAN)和混频器(Mixer)等射频集成电路(Radio Frequency Integrated Circuit，RFIC)中的重要组成器件，电感越来越受到人们的重视。电感包括螺旋电感和差分电感。当采用半导体器件制程技术制作完电感后，就需要对电感进行测试，方式为采用引线和测试衬垫构建测试装置，通过测试装置中的引线将所制成的电感电连接到测试衬垫上，测量得到电感的电特性参数。由于测试装置中的测试衬垫及电连接电感的引线会产生寄生电阻、寄生电容和寄生电感，会影响测试电感性能的准确性，所以需要再对测试装置进行开路和短路测试，得到引起误差的电特性参数后，采用得到的电感的电特性参数去除引起误差的电特性参数，得到准确的电感的电特性参数。

以下采用螺旋电感举例说明如何得到准确的电感的电特性参数，差分电感只是在形状上和螺旋电感不同，但是测试得到准确的电感的电特性参数过程相似。

图1为现有的测试装置示意图，该测试装置一般在所制作电感的同一金属层上，称为顶部金属层，为了描述方便，在图中画出了螺旋电感。

螺旋电感113由金属线在顶部金属层从外向内缠绕而成。螺旋电感113的外端接测试装置的第一引线111，内端连接测试装置的第二引线112。由于在同一金属层上内端和测试装置的第二引线112之间存在螺旋电感113的金属线，所以在连接时可以先将内端通过通孔引入到其他金属层，比如比顶部金属层次低一层的金属层后，延伸跨过螺旋电感113的金属线后，再通过通孔连接回到顶部金属层，与测试装置的第二引线112连接。

在图1中，测试装置包括：

第一金属连线区本体101，包括：带状且两端分别向一侧延伸的第一本体、位于第一本体中部的第一接地金属103、及分别位于第一本体的两端延伸部的两个第一金属测试衬垫105、106；

第二金属连线区本体102，与第一金属连线区本体101结构对称，包括：第二本体、第二接地金属104、及两个第二金属测试衬垫107、108；

分别位于在第一金属测试衬垫105、106和第二金属测试衬垫107、108之间的两个对称的第三金属测试衬垫109、110；

两个对称的第三金属测试衬垫109、110分别通过第一引线111和第二引线112与螺旋电感113相连接。

在图1中，为了避免电流流过第一金属连线区本体101或第二金属连线区本体102的直角时的损耗，在第一、第二本体和两端延伸部连接处形成直角倒角，第一接地金属103的宽度与第一金属连线区本体101的宽度相同或略小于，第二接地金属104的宽度与第二金属连线区本体102的宽度相同或略小于。

第一金属测试衬垫105、106，及第二金属测试衬垫107、108的宽度与第一金属连线区本体101及第二金属连线区本体102的延伸部的宽度相同，且一侧与第一金属连线区本体101及第二金属连线区本体102的延伸部的一侧平齐。

第一接地金属103和第二接地金属104分别通过通孔与下方的顶部金属层上相同区域的接地金属相连，直到半导体器件最下方的有源区。第一金属测试衬垫，第二金属测试衬垫和第三金属测试衬垫也依次和比顶部金属层次低一层的金属层上相同区域的金属测试衬垫相连，直到半导体器件的第一金属层。

在进行螺旋电感的电特性参数测试时，得到准确的电特性参数的过程的具体步骤为：

步骤101、按照图1的结构，测量螺旋电感的电特性参数，该电特性参数为器件散射参数矩阵S_{_total}。

本步骤中，先把图1中第一接地金属103，第二接地金属104，第一金属测试衬垫105、106，第二金属测试衬垫107、108接地，再在第三金属测试衬垫109、110上加载测试信号，测量得到螺旋电感113的器件散射参数矩阵S_{_total}。

本步骤中，S_{_total}是用Cascade半自动探针台(Semi-auto Probe Station)和Agilent微波网络矢量分析仪(PNA)测量得到。