[发明专利]射频电路中电感的短路测试装置及短路测试方法有效
申请号: | 201010110791.5 | 申请日: | 2010-02-12 |
公开(公告)号: | CN102156235A | 公开(公告)日: | 2011-08-17 |
发明(设计)人: | 何丹 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/02 | 分类号: | G01R31/02;G01R27/26 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 牛峥;王丽琴 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 射频 电路 电感 短路 测试 装置 方法 | ||
1.一种射频电路中电感的短路测试装置,包括:
第一金属连线区本体,包括第一本体、位于第一本体一侧中部的第一接地金属、及分别位于第一本体另一侧两端的两个第一金属测试衬垫;
第二金属连线区本体,与第一金属连线区本体结构对称,包括第二本体、第二接地金属、及两个第二金属测试衬垫;
分别位于第一金属测试衬垫和第二金属测试衬垫之间的两个第三金属测试衬垫;
连接结构,对称连接第一金属连线区本体和第二金属连线区本体;
两个第三金属测试衬垫和连接结构之间分别通过两条引线相连接;
所述连接结构的长度和宽度使得连接结构的短路寄生电阻和短路寄生电感小于影响测试电感准确性的电特性参数值。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一金属连线区本体或第二金属连线区本体的长度范围分别为267.5微米到297.5微米。
3.如权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述连接结构的中间宽度为引线之间的宽度,且逐渐扩展朝向第一本体及第二本体的宽度。
4.如权利要求3所述的装置,其特征在于,所述扩展朝向第一本体及第二本体的宽度为60微米到100微米。
5.如权利要求3所述的装置,其特征在于,所述逐渐扩展朝向第一本体及第二本体的宽度为:
采用斜边扩展,从中间的宽度逐渐扩展到朝向第一本体及第二本体的宽度,斜边的夹角范围为30度到45度。
6.一种利用权利要求1的测试装置的射频电路中电感的短路测试方法,该方法包括:
将第一接地金属、第二接地金属、第一金属测试衬垫和第二金属衬垫接地;
在第三金属测试衬垫上加载测试信号,测量测试装置的短路电特性参数。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述短路特性参数为短路寄生电阻值和短路寄生电感值。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010110791.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。