[发明专利]用于双图样设计的布线方法

权利要求书

1.一种设计用于芯片的双图样掩模集合的方法，所述方法包括：

设计第一图样集合；

设计第二图样集合；

将芯片的金属层划分为栅格；

为所述芯片的所述金属层布置金属线图样，其中，所述栅格的第一栅 格单元中的所有左边界金属线图样都在所述第一图样集合中，以及所述栅 格的第一栅格单元中的所有右边界金属线图样都在所述第二图样集合；或 者所述第一栅格单元中的所有左边界金属线图样都在所述第二图样集合 中，以及所述第一栅格单元中的所有右边界金属线图样都在所述第一图样 集合中；

将所述左边界金属线图样切换到所述第一图样集合和所述第二图样集 合中的不同图样集合；

将所述右边界金属线图样切换到所述第一图样集合和所述第二图样集 合中的另一不同图样集合；

将所述第一图样集合中的图样转印到所述双图样掩模集合的第一掩 膜；以及

将所述第二图样集合中的图样转印到所述双图样掩模集合的第二掩 膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述栅格中的所有栅格单元都 具有相同尺寸。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述栅格还包括与所述第一栅 格单元相邻的第二栅格单元，所述第二栅格单元的左边界与所述第一栅格 单元的右边界邻接，以及其中，所述第一栅格单元的所述右边界金属线图 样在所述第一图样集合和所述第二图样集合中的与所述第二栅格单元的附 加左边界金属线图样不同的一个集合中，并且所述方法还包括：

将所述第二栅格单元的所述附加左边界金属线图样切换到所述第一图 样集合和所述第二图样集合中不同的一个集合；以及

将所述第二栅格单元的附加右边界金属线图样切换到所述第一图样集 合和所述第二图样集合中不同的一个集合。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述栅格还包括第二栅格单元， 所述第二栅格单元的左边界与所述第一栅格单元的右边界邻接，其中，所 述第一栅格单元的所述右边界金属线图样在所述第一图样集合和所述第二 图样集合中的与所述第二栅格单元的附加左边界金属线图样不同的一个集 合中，以及其中，在转印所述第一图样集合中的图样的步骤和转印所述第 二图样集合中的图样的步骤之前，所述第二栅格单元的所述附加左边界金 属线图样和附加右边界金属线图样没有被切换到所述第一图样集合和所述 第二图样集合中不同的集合。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述栅格还包括附加栅格单元， 其中，所述附加栅格单元包括左缓冲区域和右缓冲区域，并且其中，在所 述第一图样集合和所述第二图样集合中布置左边界金属线图样或右边界金 属线图样。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述栅格中的所有栅格单元 中，所述栅格的每个栅格单元中的所有左边界金属线图样均在所述第一图 样集合和所述第二图样集合中的同一集合中，以及其中，所述栅格的每个 栅格单元中的所有右边界金属线图样均在所述第一图样集合和所述第二图 样集合中的同一集合中。

7.一种设计用于芯片的双图样掩模集合的方法，所述方法包括：

将所述芯片划分为包括栅格单元的栅格，其中，每个栅格单元都包括 左边界和右边界；

布置所述芯片的金属层，其中，在每个栅格单元中，所述金属层的所 有左边界图样都分配有第一标识符，以及所述金属层的所有右边界图样都 分配有第二标识符；或者所述金属层的所有左边界图样都分配有第二标识 符，以及所述金属层的所有右边界图样都分配有所述第一标识符，以及其 中，所述第一标识符不同于所述第二标识符；

从一行的所述栅格单元之一开始，将标识符变化传播到所述行中的所 述栅格单元；以及

将所述栅格单元中的所有图样转印到所述双图样掩模集合，分配有第 一标识符的所有图样都被转印到所述双图样掩模集合的第一掩模，以及分 配有第二标识符的所有图样都被转印到所述双图样掩模集合的第二掩模。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一标识符为第一颜色， 以及所述第二标识符为第二颜色。